Equipo de la deposición de la farfulla del oro del Au, Silve/máquina de la deposición del oro PVD, sistema conductor de la farfulla de la película PVD
Resumen: El cobre de galjanoplastia directo del proceso del DPC es una tecnología avanzada de la capa aplicada con el LED/el semiconductor/industrias electrónicas. Un uso típico es de cerámica irradiando el substrato. La deposición conductora de la película del tonelero en el óxido de aluminio (Al2O3), substratos de AlN por PVD limpia la tecnología de la farfulla con la aspiradora, comparada con la fabricación tradicional
métodos: DBC LTCC HTCC, un coste de producción mucho más bajo es su alta característica.
El equipo real de la tecnología ayudó a nuestro cliente desarrolló el proceso del DPC con éxito con tecnología de la farfulla de PVD.
Palabras claves: Piezas de aislamiento de cerámica, proceso del DPC, sistema de cobre de la farfulla de PVD, microprocesadores de cerámica con la galjanoplastia del tonelero, Al2 O3, placas de circuito de cerámica de AlN, del LED placas Al2O3 en LED, semiconductor
Usos del DPC:
· HBLED
· Substratos para las células solares del concentrador
· Semiconductor del poder que empaqueta incluyendo control de motor automotriz
· Electrónica de la gestión del poder del automóvil híbrido y eléctrico
· Paquetes para el RF
· Dispositivos de la microonda
Funcionamiento de la tecnología del DPC
Diversos materiales del substrato: De cerámica (Al3O2, AlN), vidrio, y Si
Características:
Especificaciones técnicas
1. Última presión del vacío: mejore que PA 9.0*10-5;
3. Tiempo muerto de bombeo: de la atmósfera a los minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)
4. Fuente de la deposición: Cátodos de la farfulla del magnetrón de Gencoa, cátodos dirigidos del arco, fuente de ion
5. Modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno manualmente
6. Calefacción: de temperatura ambiente hasta el máximo 500℃,
9. Fuente de ion para el proceso de PECVD y del PA PVD.
La máquina de la vacuometalización contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:
1. Cámara de vacío
1,1 tamaño: Diámetro interno: 1200m m
Altura interna: 1500m m
1,2 material: Cámara de vacío SUS304
Puerta y rebordes SUS304
La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.
Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.
1,3 escudo de la cámara: SUS304
1,4 ventana de la visión: 2 en puerta
1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío (silenciador incluyendo)
1,6 puerta: Material SUS304
2. Sistema de bombeo del vacío del desbaste:
Bomba de vacío rotatoria de la paleta del aceite + sosteniendo la bomba
3. Sistema de bombeo del alto vacío: Magnético bomba molecular de la suspensión - 2 sistemas
4. Sistema eléctrico de la operación de la pantalla táctil del sistema PLC+ del control y de la operación:
Proveedores:
PLC: Mitsubishi + pantalla táctil (hecha en China)
Componentes electrónicos: SCHNEIDER, OMRON.
Sistema de protección de la seguridad: Dispositivos de seguridad numerosos para proteger los operadores y el equipo (agua, gas actual, temperatura etc.)
La capa procesa el sistema: Automatización de proceso y control.
4,1 circuito de la tubería: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie
4,2 fuente de alimentación: Poder de la farfulla de DC/MF + poder del arco de DC + fuente de alimentación diagonal
4,3 sistema de control de la deposición
4,4 sistema de la operación: Pantalla táctil + PLC, control y registración de datos, cierre auto, evacuación auto, capa auto de la receta
4,5 sistema de medición
Presión del vacío: Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador + indicador de vacío de la gama completa -- Marca de Europa
Aparato de medición de la temperatura: Termopar
MFC: Regulador del flujo total (4 maneras),
4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación
4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador de la corriente de la carga
5. sistema de la deposición
5,1 fuente de la deposición: Fuentes del arco de la farfulla cathodes+ + fuente de ion
5,2 material de la deposición: Cobre, aluminio, Chrome, plata, oro, SS, titanio etc.
6. Subsistema
6,1 sistema de control comprimido de la válvula del aire
6,2 circuito de agua de enfriamiento: Sistema de la válvula del tubo y del interruptor de la corriente
7. Ambiente de trabajo
Aire comprimido: 5~8kg/cm2
Agua de enfriamiento: Agua-en temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Agua-en la presión: 2~3 kg/cm2,
Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de energía media: 60KW
Área de la instalación: (L*W*H) 4400*3200*2950m m
Extractor: Respiradero para las bombas mecánicas
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.