Farfulla del magnetrón de DC de la máquina de capa de la farfulla del tantalio PVD
1 set
MOQ
Tantalum PVD Sputtering Coating Machine DC Magnetron Sputtering
Caracteristicas Galería Descripción de producto Pida una cita
Caracteristicas
Información básica
Lugar de origen: China
Nombre de la marca: ROYAL
Certificación: CE
Número de modelo: RTAS
Alta luz:

vacuum coating plant

,

alta máquina de la vacuometalización

Pago y Envío Términos
Detalles de empaquetado: Exporte el estándar, para ser embalado en los nuevos casos/los cartones, convenientes para el océano
Tiempo de entrega: 14~16weeks
Capacidad de la fuente: 10 juegos por mes
Especificaciones
Tecnología: Galjanoplastia del ion del arco + deposición de la farfulla de PVD
Blancos: TiAl, TA, Ni, Cr, Ti, Au, AG, SS, Cu, Zr, Al etc.
Propiedades: Alta producción, alta uniformidad, alta utilización de la blanco
Uso: Deposición múltiple de las películas de la capa
Ventajas: Proceso de funcionamiento respetuoso del medio ambiente
Descripción de producto

               Máquina de capa de la farfulla del tantalio PVD, películas del tantalio depositadas por el magnetrón que farfulla, galjanoplastia de DC del tantalio de PVD

 

El tantalio es el más ampliamente utilizado de la industria electrónica y como capa protectora en muchas industrias debido a su buena resistencia a la erosión.

 

Las películas farfulladas del tantalio son ampliamente utilizadas en
1. la industria de la microelectrónica como las películas pueden ser farfulladas reactivo y así el coeficiente de la resistencia y de temperatura de resistencia pueden ser controlados;

2. Instrumentos médicos como los implantes del cuerpo para su altamente propiedad del biocompatability;

 

3. capas en partes resistentes a la corrosión, tales como thermowells, cuerpos de válvula, y sujeciones;

 

 

El tantalio farfullado puede deber también ser utilizado como barrera eficaz de la resistencia a la corrosión si la capa es continua, defectected y es adherente al substrato se piensa proteger.

 

 

Ventajas técnicas RTAS1000

 

1. Sistema de diseño integrado enchufable para la instalación rápida

2. PLC de Siemens, CPU; con hardware industrial de la operación y del control de la PC

3. Disponible para el control remoto y la diagnosis.
4. flexible, aliste para actualizar

5. Cátodos múltiples para la velocidad rápida de la deposición

Farfulla del magnetrón de DC de la máquina de capa de la farfulla del tantalio PVD 0

 

Más ventajas de la máquina:

 

 Diseño robusto, calidad estable, ciclo rápido, duración de ciclo rápida, alta velocidad de la deposición

 

Configuraciones principales
MODELO RTAS1000
TECNOLOGÍA Magnetrón de DC que farfulla + galjanoplastia catódica del arco
MATERIAL DE LA CÁMARA Acero inoxidable (S304)
TAMAÑO DE LA CÁMARA Φ1000*1000mm (h)
TIPO DE LA CÁMARA Forma de D, cámara cilíndrica
ESTANTE DE LA ROTACIÓN Y SISTEMA DE LA PLANTILLA Conducción por satélite o sistema de conducción central
FUENTES DE ALIMENTACIÓN Fuente de alimentación de la farfulla de DC: 2~4 sistemas perjudican la fuente de alimentación: 1 fuente de alimentación determinada del arco: 11 sistemas
MATERIAL DE LA DEPOSICIÓN Ti/Cr/TiAl, TA, Au, AG, Cu etc.
FUENTE DE LA DEPOSICIÓN

Cátodos planares de la farfulla + cátodos circulares del arco

Observación: DC cylinderial farfulla está disponible

CONTROL PLC (regulador programable de la lógica) + pantalla táctil (modelos de operación semi-autos de manual+ auto+)
SISTEMA DE BOMBA Vane Pump rotatoria: SV300B - 1 sistema (Leybold)
Las raíces bombean: WAU1001 - 1 sistema (Leybold)
Sostener la bomba: D60C - 1 sistema (Leybold)
Bomba molecular de la suspensión magnética: MAG2200 - 2 más sest (Leybold)
PROVEA DE GAS EL REGULADOR DEL FLUJO TOTAL 4 canales, hechos en China, modelo digital de siete estrellas (serie del CS,) (AR, N2, O2, C2H2)
INDICADOR DE VACÍO Modelo: ZDF-X-LE, hecho en China
SISTEMA DE SEGURIDAD Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y equipmen
CALEFACCIÓN Calentadores: 20KW. Temporeros máximos.: 450℃
ENFRIAMIENTO Refrigerador industrial (agua fría)
MÁXIMO DEL PODER. 100KW (aproximadamente)
CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA 45 kilovatios (aproximadamente)
PESO BRUTO T (aproximadamente)
IMPRESIÓN DEL PIE (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILÍMETRO
PODER ELÉCTRICO Línea phases/50HZ/5 de la CA 380V/3

 

 

 

Cátodos cilíndricos de la farfulla                                   Cátodos planares de la farfulla

 

 

Farfulla del magnetrón de DC de la máquina de capa de la farfulla del tantalio PVD 1     Farfulla del magnetrón de DC de la máquina de capa de la farfulla del tantalio PVD 2

 

 

 

Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones de capa totales.

 

Transfiera el folleto, haga clic por favor aquí:  Deposición System.pdf de la farfulla del magnetrón
Applicatio del sistema de la deposición de la farfulla del magnetrón…
 

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