La serie de RTAS es una máquina emisora múltiple integrada de la deposición a los colores generales del grafito, del negro azabache, azules, de cobre y de bronce en las piezas de metal, objetos de acero inoxidables. Utilizado particularmente para las piezas de lujo de la clase de gama alta.
Uso estándar
Joyería, correas de reloj y cuerpos, deportes de acero inoxidables, escribiendo los instrumentos
Productos electrónicos de consumo: Teléfono móvil, ordenador portátil, cámara, abejones
Las máquinas de RTAS equipadas de fuentes circulares de la deposición de la farfulla del arco y del cilindro. Combinaciones múltiples de DC que farfullan, farfulla de la frecuencia intermedia, evaporación del arco y fuente de ion etc. Todos están disponibles en una sola máquina, para una alta flexibilidad en configuraciones para satisfacer diversos usos. Especialmente para las capas estéticas de los pequeños componentes: colores del negro azabache, del cobre, del latón y del cromo.
¿Qué la frecuencia intermedia está farfullando?
Comparado con DC y el RF que farfullaban, la frecuencia media que farfullaba se ha convertido en una técnica principal de la farfulla de la película fina para la producción en masa de la capa, particularmente para la deposición de la película de las capas dieléctricas y no-conductoras de la película en superficies tales como capas ópticas, paneles solares, capas múltiples, película etc. del material compuesto.
Está substituyendo la farfulla del RF debido a él actuó con el kilociclo bastante que el megaciclo para una tarifa de deposición mucho más rápida y también puede evitar el envenenamiento de la blanco durante la deposición de la película fina del compuesto como DC.
Las blancos de la farfulla de la frecuencia intermedia existieron siempre con los dos-sistemas. Dos cátodos se utilizan con una corriente de la CA cambiaron hacia adelante y hacia atrás entre ellas que limpie la superficie de la blanco con cada revocación para reducir la carga para acumularse en los dieléctricos que los papeles principales a la formación de arcos que puede arrogar gotitas en el plasma y prevenir el crecimiento de película fina uniforme que es lo que llamamos Target Poisoning.
Specificaitons técnico
| No. | Nombre |
| 1 | Sistema de bombeo del vacío: Bomba molecular de Turbo + bomba mecánica de las raíces Pump+ + sosteniendo la bomba |
| 2 | Sistema de medición del vacío: Pirani + encerrando los indicadores |
| 3 | Sistema de calefacción: calentadores para los substratos que calientan para arriba para mejorar la adherencia |
| 4 | Agua/sistema comprimido de la distribución del aire: diseño modular y fabaricated |
| 5 | Cátodos de la farfulla del cilindro: 2/4/6/8 par de blancos de los gemelos para la opción |
| 6 | Válvula de puerta del vacío (como opción) |
| 7 | Recinto eléctrico (estándar del CE) |
| 8 | Cámara de vacío (SS304/316L por requerimiento) |
| 9 | Fuente catódica del arco (cátodos convencionales del arco) |
| 10 | Puerto de la visión (2 distribuidos en la puerta para la inspección dentro de la cámara de la deposición) |
| 11 | Procesando el sistema de distribución del gas (regulador del flujo de metro para 4 canales) |
| 12 | Sistema de conducción del estante (modelo de conducción planetario) |
| 13 | Carrusel |
| Descripción | RTAS1250 | RTAS1612 |
| Cámara de la deposición (milímetros) | φ1250 * H1250 | φ1600 * H1250 |
|
Conducción planetaria Área de capa eficaz (milímetros) |
8: φ270*H850 10: φ230*H850 |
10: φ300*H850 16: φ200*H850 |
| Cátodo circular del arco (sistemas) | 7 | 12 |
| Cátodos de la farfulla del cilindro (pares) | 3 /4 | 4 / 6 |
|
Poder diagonal pulsado (Kilovatio) |
36 | 48 |
| Poder de la farfulla de DC/frecuencia intermedia (kilovatios) | 36 | 4*36 |
| Poder del arco (kilovatios) | 7*5 | 12*5 |
| Bombas de vacío |
Bombas moleculares de 2* Turbo 1*SV300B 1*WAU1001 1*TRP60 |
Bombas moleculares de 3* Turbo 2*SV300B 1*WAU2001 1*TRP90 |
| Consumo de energía máximo (kilovatios) | 200 | 245 |
| Consumo de energía media (kilovatios) | <75> | <100> |
| Espacio de la operación (L*W*H) milímetro | 4300*3700*2800 | 5000*4000*2800 |
Configuraciones flexibles: la máquina se fija según requisitos de capa de los procesos y de clientes
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