La máquina de deposición en vacío híbrida PVD y PECVD-RT-Multi950

T.La integración de las tecnologías PVD y PECVD en una máquina de recubrimiento híbrida ofrece una serie de ventajas que pueden conducir a una mejor calidad del recubrimiento, versatilidad, control, eficiencia, ahorro de costes,Personalización, y la sostenibilidad ambiental.

El Multi950 es el hito de los sistemas de recubrimiento de diseño avanzado para Royal Tech.Su dedicación creativa y desinteresada son valores ilimitados e inspiraron a nuestro equipo..

En el año 2018, tuvimos otro proyecto de cooperación con Pressor Chen, la deposición de material C-60 por
Método de evaporación térmica inductiva, agradecemos sinceramente al Sr. Yimou Yang y al Profesor Chen por su liderazgo e instrucción en cada proyecto innovador.

Propiedades de la máquina Multi950:

huella compacta,
Diseño modular estándar,
Flexible
Confiable
Cámara octal,
estructura de dos puertas para un fácil acceso,
Procesos de PVD + PECVD.

Características del diseño:

1Flexibilidad: los cátodos de arco y pulverización, las bridas de montaje de la fuente iónica están estandarizadas para un intercambio flexible;
2- Versatilidad: puede depositar una variedad de metales y aleaciones comunes; recubrimientos ópticos, recubrimientos duros, recubrimientos blandos,películas compuestas y películas lubricantes sólidas en los sustratos de materiales metálicos y no metálicos.
3Diseño recto hacia adelante: estructura de 2 puertas, apertura delantera y trasera para un fácil mantenimiento.

La máquina Multi950 es un sistema de deposición de vacío de múltiples funciones personalizado para I + D. Después de medio año de discusión con el equipo de la Universidad de Shanghai dirigido por el profesor Chen,Finalmente hemos confirmado el diseño y las configuraciones para cumplir con sus aplicaciones de I + DEste sistema es capaz de depositar película DLC transparente con proceso PECVD, recubrimientos duros en herramientas y película óptica con cátodo de pulverización.Hemos desarrollado otros 3 sistemas de recubrimiento después de eso:
1. Revestimiento de placas bipolares para vehículos eléctricos de pila de combustible- FCEV1213,
2. Cobre cerámico con recubrimiento directo- DPC1215,
3Sistema de pulverización flexible RTSP1215.
Estos 4 modelos de máquina son todos con cámara octal, rendimientos flexibles y confiables son ampliamente utilizados en diversas aplicaciones.Para satisfacer los procesos de recubrimiento requieren múltiples capas de metal diferentes: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS y muchos otros metales no ferromagnéticos;
Además de la unidad de fuente iónica, mejora eficientemente la adhesión de las películas en diferentes materiales de sustrato con su rendimiento de grabado por plasma y el proceso PECVD para depositar algunas capas a base de carbono.

Multi950 - Especificaciones técnicas

Los equipos de servicio e ingeniería de Royal Tech brindan soporte al cliente en el sitio, póngase en contacto con nosotros para sus solicitudes.