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| Nombre De La Marca: | ROYAL |
| Número De Modelo: | Multi950 |
| Cuota De Producción: | 1 set |
| Precio: | depends on |
| Condiciones De Pago: | L/C,T/T |
| Capacidad De Suministro: | 10 juegos por mes |
T.La integración de las tecnologías PVD y PECVD en una máquina de recubrimiento híbrida ofrece una serie de ventajas que pueden conducir a una mejor calidad del recubrimiento, versatilidad, control, eficiencia, ahorro de costes,Personalización, y la sostenibilidad ambiental.
El Multi950 es el hito de los sistemas de recubrimiento de diseño avanzado para Royal Tech.Su dedicación creativa y desinteresada son valores ilimitados e inspiraron a nuestro equipo..
En el año 2018, tuvimos otro proyecto de cooperación con Pressor Chen, la deposición de material C-60 por
Método de evaporación térmica inductiva, agradecemos sinceramente al Sr. Yimou Yang y al Profesor Chen por su liderazgo e instrucción en cada proyecto innovador.
Propiedades de la máquina Multi950:
huella compacta,
Diseño modular estándar,
Flexible
Confiable
Cámara octal,
estructura de dos puertas para un fácil acceso,
Procesos de PVD + PECVD.
Características del diseño:
1Flexibilidad: los cátodos de arco y pulverización, las bridas de montaje de la fuente iónica están estandarizadas para un intercambio flexible;
2- Versatilidad: puede depositar una variedad de metales y aleaciones comunes; recubrimientos ópticos, recubrimientos duros, recubrimientos blandos,películas compuestas y películas lubricantes sólidas en los sustratos de materiales metálicos y no metálicos.
3Diseño recto hacia adelante: estructura de 2 puertas, apertura delantera y trasera para un fácil mantenimiento.
La máquina Multi950 es un sistema de deposición de vacío de múltiples funciones personalizado para I + D. Después de medio año de discusión con el equipo de la Universidad de Shanghai dirigido por el profesor Chen,Finalmente hemos confirmado el diseño y las configuraciones para cumplir con sus aplicaciones de I + DEste sistema es capaz de depositar película DLC transparente con proceso PECVD, recubrimientos duros en herramientas y película óptica con cátodo de pulverización.Hemos desarrollado otros 3 sistemas de recubrimiento después de eso:
1. Revestimiento de placas bipolares para vehículos eléctricos de pila de combustible- FCEV1213,
2. Cobre cerámico con recubrimiento directo- DPC1215,
3Sistema de pulverización flexible RTSP1215.
Estos 4 modelos de máquina son todos con cámara octal, rendimientos flexibles y confiables son ampliamente utilizados en diversas aplicaciones.Para satisfacer los procesos de recubrimiento requieren múltiples capas de metal diferentes: Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS y muchos otros metales no ferromagnéticos;
Además de la unidad de fuente iónica, mejora eficientemente la adhesión de las películas en diferentes materiales de sustrato con su rendimiento de grabado por plasma y el proceso PECVD para depositar algunas capas a base de carbono.
Multi950 - Especificaciones técnicas
| Descripción | Las demás: |
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Cámara de deposición (mm) Ancho x profundidad x altura |
1050 x 950 x 1350 |
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Fuentes de deposición |
1 par de catodos de pulverización MF |
| 1 par de PECVD | |
| 8 conjuntos de cátodos de arco | |
| Fuente de iones lineal | 1 juego |
| Zona de uniformidad del plasma (mm) | φ650 x H750 |
| El carrusel | 6 x φ300 |
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Potencias (KW) |
Prejuicios: 1 x 36 |
| MF: 1 x 36 | |
| PECVD: 1 x 36 | |
| Arco: 8 x 5 | |
| Fuente de iones: 1 x 5 | |
| Sistema de control de gas | En el caso de las empresas de servicios de telecomunicaciones: |
| Sistema de calefacción | 500°C, con control PID de pareja térmica |
| Válvula de puerta de vacío alto | 2 |
| Bombas turbomoleculares | 2 x 2000 L/S |
| Bomba de las raíces | 1 x 300 L/S |
| Bombas de las paletas giratorias | 1 x 90 m3/h + 1 x 48 m3/h |
| Impresión (L x O x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
| Potencia total (KW) | 150 |
Los equipos de servicio e ingeniería de Royal Tech brindan soporte al cliente en el sitio, póngase en contacto con nosotros para sus solicitudes.
