El equipo de la vacuometalización de la película fina de DLC, fuente de ion PECVD para generar el diamante le gusta el sistema de capa del carbono
Película de DLC (diamante - como - carbono), ha estado beneficiando a la variedad de industrias para los productos de calidad de gama alta como: transportes automotrices, instrumentos médicos, militares, espacio aéreo, piezas de aislamiento industriales, relojes, etc. que requieren alta durabilidad y el coeficiente de fricción mínimo.
La técnica de la capa del proceso DLC de PECVD + de PVD ha sido desarrollada por nosotros por años para satisfacer el uso de la mayor nivel. Este proceso que proporciona un acabamiento único y sin defectos en la superficie del producto exceptúa belleza extrodiary.
Especificaciones de la máquina de capa de la película fina de DLC
| MODELO | RTSP1010 | |||||||
| TECNOLOGÍA | Magnetrón del proceso de PECVD que farfulla + fuente de ion | |||||||
| MATERIAL DE LA CÁMARA | Acero inoxidable (S304) | |||||||
| TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1000*1000mm (h) | |||||||
| TIPO DE LA CÁMARA | Cámara del octaedro regular, 2 puertas | |||||||
| ESTANTE DE LA ROTACIÓN Y SISTEMA DE LA PLANTILLA | 6 satélite (de 8), peso máximo: 400kgs | |||||||
| FUENTES DE ALIMENTACIÓN | Qty. de la farfulla: Kilovatio 2*24 en diagonal de fuente de alimentación: la fuente de alimentación de 1*24W AE para el alimentación de la fuente de ion de la opción fuente 2 sistemas, fuente de alimentación de los AE para la opción | |||||||
| MATERIAL DE LA DEPOSICIÓN | Cr/C | |||||||
| FUENTE DE LA DEPOSICIÓN |
cátodos de la farfulla de 2 pares (4 pedazos) + 2 áreas de capa de la fuente de ion: Dia800mm*H550mm; Área de la uniformidad: el ±10~15% |
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| CONTROL | PLC (regulador programable de la lógica) + pantalla táctil (modelos de operación semi-autos de manual+ auto+) | |||||||
| SISTEMA DE BOMBA | Bomba de paleta rotatoria: SV300B - 1 sistema (Leybold) | |||||||
| Bomba de las raíces: WAU1001 - 1 sistema (Leybold) | ||||||||
| Sostener la bomba: D60C-1set- (Leybold) | ||||||||
| Bomba molecular de la suspensión del rotor de Magnetric: MAG2200 - 2 sistemas (Leybold) | ||||||||
| REGULADOR DEL FLUJO TOTAL DEL GAS | 3 canales, hechos en América (marca de MKS) | |||||||
| INDICADOR DE VACÍO | Modelo: ZDF-X-LE, hecho en China | |||||||
| Fuente de ion linear | 2 pedazos que pretrataban, limpieza del plasma + ayudaron a la deposición | |||||||
| SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y el equipo | |||||||
| CALEFACCIÓN | Calentadores: 20KW. Temporeros máximos.: 400℃ | |||||||
| ENFRIAMIENTO | Refrigerador industrial (agua fría) | |||||||
| MÁXIMO DEL PODER. | 100KW (aproximadamente) | |||||||
| CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA | 45 kilovatios (aproximadamente) | |||||||
| PESO BRUTO | T (aproximadamente) | |||||||
| IMPRESIÓN DEL PIE | (L*W*H) 4000*4000 *4000 MILÍMETRO | |||||||
| PODER ELÉCTRICO | CA 380V/3 phases/50HZ |
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Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.
