Sistema de deposición por pulverización magnética

  Photonics farfulla el sistema de la deposición para la película hidrofóbica de la composición y otras películas funcionales

Usos:

La máquina RTSP1213 es un sistema modelo de la farfulla del lote, capas duras de los depósitos de la poder diversas, capas suaves, películas compuestas y películas de lubricante sólidas en los substratos metálicos y nos-metálico de los materiales. Aplicado a las industrias de los vehículos de Fuel Cell del hidrógeno, de los productos del photonics, del espacio aéreo y de otras nuevas industrias energéticas.

Propiedades:

Para mejorar la conductividad de la superficie;

 Alta resistencia a la corrosión;

 Alta resistencia de desgaste;

 Alta dureza

 Película hidrofóbica de la composición y otras películas funcionales

Disponible para las capas compuestas: películas metálicas y nas-metálico.

Gama de 100nm hasta el 12μm, tolerancia el ±5% del espesor del film del grueso
 Adherencia fuerte.

 Tratamiento de endurecimiento superficial de temple bajo de las piezas.

Tipo:

Orientación vertical, estructura del poliedro, 2 puertas (frente y parte posterior)

Características:

• Sistema respetuoso del medio ambiente, ningunas aguas residuales industriales, aire y contaminación acústica;
• Operación fácil: Pantalla táctil + control del PLC y programa informático único para una operación del tacto, alarma de las localizaciones de averías más de 80%.
• Clave de proceso y copia de seguridad de hasta 10 recetas; altas repetibilidad y diversidad.
• Diseño especial de sistema del carrusel para la alta uniformidad de la deposición de la película.
• Altos productividad y de alta calidad
• Sistema estable y confiable, funcionando con 365 días * 24hrs (mantenimiento y reparación que rompen tiempo)
• Sistema de bombeo de la eficacia: líneas aflautadas de un vacío más corto para la velocidad aflautada máxima con las bombas bien conocidas de la marca de Europa
• El diseño compacto ocupa el espacio mínimo de la instalación.

Especificaciones técnicas

• Funcionamiento

1. Última presión del vacío: mejore que PA 8.0*10-5;

• Base la presión del vacío: PA 3.0*10-4

3. Tiempo muerto de bombeo: de la atmósfera a los minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)

4. Fuente de la deposición: equilibrado/desequilibró los cátodos de la farfulla

5. Modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno manualmente

6. Calefacción: de temperatura ambiente hasta el máximo 450℃,

7. Limpieza del plasma y deposición de la ayuda del plasma: Fuente de ion linear del ánodo

8. Circuito cerrado magnético archivado. (Cátodos del desequilibrio/de la balanza)

9. Fuente de alimentación diagonal para la descarga del resplandor.

• Estructura

La máquina de la vacuometalización contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:

1. Cámara de vacío
1,1 tamaño: Diámetro interno 1200m m

Altura interna: 1300m m

1,2 material: Cámara de vacío SUS304

Puerta y rebordes SUS304

La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.

Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.

1,3 escudo de la farfulla: SUS304

1,4 ventana de la visión: en la puerta de la cámara - 4 sistemas (2 en cada puerta)

1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío (silenciador incluyendo)

1,6 puerta: Material SUS304

2. Sistema de bombeo del vacío del desbaste:

Bomba rotatoria de la bomba de vacío de la paleta del aceite +Roots + sosteniendo la bomba (Leybold)

3. Sistema de bombeo del alto vacío:

Bomba molecular de la suspensión magnética (Leybold)

• Válvulas de puerta - 2 sistemas

4. Pantalla táctil eléctrica del sistema PLC+ del control y de la operación

4,1 circuito de la tubería: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie

4,2 fuente de alimentación de la fuente de la fuente + de ion de alimentación de la farfulla + fuente de alimentación diagonal (energía avanzada)

4,3 sistema de control de la deposición de la farfulla

4,4 sistema de la operación: Pantalla táctil + PLC, control y registración de datos, cierre auto, evacuación auto, capa auto de la receta

4,5 sistema de medición

Presión del vacío: Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador + indicador de vacío de la gama completa -- Marca de Europa

Aparato de medición de la temperatura: Termopar
MFC: Regulador del flujo total (4 maneras), modo de visualización digital-- Marca de Europa

4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación

4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador de la corriente de la carga

5. sistema de la deposición

5,1 fuente de la deposición: Cátodos de la farfulla, fuente de ion -- Marca de Europa

5,2 material de la deposición: Blanco del carbono

6. Subsistema

6,1 sistema de control comprimido de la válvula del aire

6,2 circuito de agua de enfriamiento: Sistema de la válvula del tubo y del interruptor de la corriente

ambiente 7.Working

Aire comprimido: 5~8kg/cm2

Agua de enfriamiento: Agua-en temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Agua-en la presión: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 75kVA, consumo de energía media: 40KW

Área de la instalación: (L*W*H) 3000*4000*3200m m

Extractor: Respiradero para las bombas mecánicas

¿Por qué nosotros?

1. Los machineries avanzados de la producción (moliendo, soldadura, el cortar, prueba de escape del vacío) combinados con procedimientos estandardizados de la producción y pruebas estrictas permiten a tecnología real producir sistemas de capa del costo de alta calidad, confiable y bajo.

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Para transferir el folleto terminado, haga clic por favor aquí:  Máquina de la vacuometalización del R&D - depositio de PECVD + de PVD…