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Nombre De La Marca: | ROYAL |
Número De Modelo: | RTSP1200 |
Cuota De Producción: | 1 set |
Precio: | Negociable |
Condiciones De Pago: | L/C, D/A, D/P, T/T |
Capacidad De Suministro: | 6 sistemas por mes |
Modelo de la máquina: RT1200-FCEV
Tecnología: con PECVD + PVD Magnetron Sputtering Deposito: Si, Cr, objetivos de grafito, para generar campo magnético cerrado desequilibrado para alta densidad,película a base de carbono de alta uniformidad y excelente resistencia a la corrosión.
Esto...RTdeporte de las mercancíasEl sistema de deposición de pulverización de magnetrones de alto vacío es un modelo hecho a medida que se refiere al modelo Multi950-R&D que hemos construido para la Universidad de Shanghai.
Se ha diseñado con cámara Octal, prestaciones flexibles y fiables se utilizan ampliamente en diversas aplicaciones.El grafito, Al, Cr, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS y muchos otros metales no ferromagnéticos; más la unidad de fuente iónica,
mejora eficientemente la adhesión de la película en diferentes materiales de sustrato con su rendimiento de grabado por plasma y el proceso PECVD para depositar algunas capas a base de carbono.
Estructura del equipo:
Orientación vertical, estructura octogonal, 2 puertas abiertas (delante y atrás) para facilitar el acceso.
Características del equipo:
Sistema respetuoso con el medio ambiente, sin residuos peligrosos
Alta integración, diseño modular
Comercializado y estandarizado para la producción industrial en masa
Fuente de iones extremadamente eficiente para una fuerte adhesión y alta ionización
Fácil operación: pantalla táctil + control PLC, una operación de toque
Con el software de Royal Technology, los parámetros del proceso se pueden programar, guardar y reproducir
Diseño especial del sistema de carrusel para una deposición muy uniforme
Alta productividad y estabilidad, trabajando las 24 horas del día, los 7 días de la semana
Flexibles, para cubrir placas de varios tamaños, de una o dos caras
Performance de las películas de revestimiento PVD y PECVD:
Para mejorar la conductividad de la superficie
Alta resistencia a la corrosión
Alta resistencia al desgaste
Alta dureza
Películas de composición hidrófoba y otras películas funcionales
Disponible para recubrimientos compuestos: películas metálicas y no metálicas
El espesor de la película oscila entre 100 nm y 12 μm, tolerancia de grosor ± 5% Adhesión fuerte
Tratamiento de endurecimiento superficial de piezas de baja templanza
Modelo | RTdeporte de las mercancías | |||||||||
El material | Acero inoxidable (S304) | |||||||||
Tamaño de la cámara | Se aplicará el método de ensayo de la prueba de velocidad. | |||||||||
Tipo de cámara | Estructura de dos puertas delantera y trasera, vertical | |||||||||
Embalaje único de la bomba | Bomba de vacío de pistón giratorio | |||||||||
Bomba de vacío de raíces | ||||||||||
Bomba molecular de suspensión magnética | ||||||||||
Pampilla de carga giratoria (pampilla de retención) | ||||||||||
La tecnología | Se trata de un sistema de control de las emisiones de gases de efecto invernadero. | |||||||||
Alimentación eléctrica | Fuente de alimentación de pulverización + Fuente de alimentación de sesgo + Fuente iónica | |||||||||
Fuente de depósito | 2 pares de catodos de pulverización de CC/RF + (2 pares de repuesto con) + Fuente iónica | |||||||||
Control de las emisiones | PLC + pantalla táctil | |||||||||
GAS | Medidores de flujo de masa de gas (Ar, N2, C2H2, O2) Argón, nitrógeno y etina, oxígeno | |||||||||
Sistema de seguridad | Numerosos bloqueos de seguridad para proteger a los operadores y al equipo | |||||||||
El sistema de refrigeración | Agua de refrigeración | |||||||||
Limpieza | Descarga de brillo/fuente iónica | |||||||||
Power Max. ¿Qué quieres decir? | 150 kW | |||||||||
Consumo medio de energía | 75 kW |
Por favor, póngase en contacto con nosotros para más especificaciones, Royal Technology tiene el honor de proporcionarle soluciones de recubrimiento total.