| Cámara | Orientación vertical, 1 puerta |
|---|---|
| Material | Acero inoxidable 304/316 |
| Fuente de la evaporación | Filamento térmico, bote térmico, caja térmica, varilla, crisoles |
| Materiales de la deposición | Aluminio, oro, plata, cromo, cobre, indio, óxido de estaño indio, níquel |
| Ubicación de la fábrica | Ciudad de Shangai, China |
