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Detalles de los productos

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Máquina innovadora de PVD personalizada
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Sistema de deposición por pulverización por magnetrón de película fina de tántalo (Ta) RTSP1000

Sistema de deposición por pulverización por magnetrón de película fina de tántalo (Ta) RTSP1000

Nombre De La Marca: ROYAL
Número De Modelo: RTSP1200
Cuota De Producción: 1 sistema
Precio: Negociable
Condiciones De Pago: L/C,T/T
Capacidad De Suministro: 8 sistemas por mes
Información detallada
Lugar de origen:
Hecho en China
Certificación:
CE
Modelo:
Sistema de recubrimiento por lotes
Películas de recubrimiento:
Fuerte adherencia, bajo coeficiente de fricción, resistencia a la corrosión, alta densidad y uniform
ventajas:
Gran capacidad, diseño inteligente, alto tiempo de actividad y alto rendimiento, bajo costo de propi
Diseño:
Cámara octal, 4 cátodos de pulverización catódica, 1 fuente de iones lineal
Ubicación de la fábrica:
Ciudad de Shangai, China
Servicio mundial:
Polonia - Europa; Irán Asia y Medio Oriente del oeste, Turquía, la India, México Suramérica
Servicio de entrenamiento:
Operación de máquina, mantenimiento, recetas de proceso de capa, programa
Garantización:
Garantía limitada 1 año gratis, toda la vida para la máquina
OEM y ODM:
disponibles, apoyamos diseño y la fabricación específicos
Detalles de empaquetado:
Exporte el estándar, para ser embalado en los nuevos casos/los cartones, convenientes para el océano
Capacidad de la fuente:
8 sistemas por mes
Resaltar:

Sistema de la deposición de la farfulla del magnetrón de la película fina

,

Sistema de la deposición de la farfulla del magnetrón del tantalio

,

Sistema de la farfulla del magnetrón de la capa del lote

Descripción del producto

Deposición de tántalo, metales preciosos de oro por pulverización 

La pulverización se utiliza ampliamente para depositar metales refractarios como el tántalo, el titanio, el tungsteno,Niobio, que requeriría temperaturas de deposición muy altas, y metales preciosos: oro y plata y que también se utiliza para la deposición de los metales de menor punto de fusión como cobre, aluminio, níquel, cromo, etc.

El tántalo es el más utilizado en la electrónica industriacomo recubrimiento protector debido a su buena resistencia a la erosión.

Las películas de tántalo pulverizadas se utilizan ampliamente en el
1- industria de la microelectrónica, ya que las películas pueden ser pulverizadas reactivamente y, por lo tanto, la resistividad y el coeficiente de temperatura de la resistencia pueden controlarse;

2Instrumentos médicos como los implantes corporales por su alta propiedad de biocompatibilidad.

3. recubrimientos de piezas resistentes a la corrosión, tales como pozos térmicos, cuerpos de válvulas y elementos de sujeción;

4.El tántalo pulverizado también se puede utilizar como una barrera de resistencia a la corrosión eficaz si el recubrimiento es continuo, defectuoso y se adhiere al sustrato..

Tecnología real¿Qué quieres decir?Sistema de deposición de pulverización de tantalo estandarizado: modelo RTSP1000.
 
Propiedades de las películas pulverizadas con tántalo:
Resistencia baja

Revestimientos de superficie resistentes a la corrosión y al desgaste que sean: Las condiciones de trabajo y de trabajo de los trabajadores en el sector de la construcción y de la construcción son las siguientes: 


Características del diseño:

Diseño robusto, calidad estable, ciclo rápido, sistema de alta precisión


Configuraciones principales

Modelo

RTSP1000

La tecnología

Pulverización de magnetrones de CC + recubrimiento de arco catódico

Material de las cámaras

Acero inoxidable (S304)  

Tamaño de la cámara

Φ1000*16Se aplicará el procedimiento siguiente: 

Tipo de cámara

Forma D, cámara cilíndrica

Sistema de rotación de la plataforma y de los jigs 

Sistema de conducción por satélite o sistema de conducción central

 Las fuentes de energía eléctrica

Fuente de alimentación de pulverización de CC: 2 ~ 4 juegos 
Bias Energía: 1 juego

Fuente de iones: 1 juego                                                                                                                                                                      

Material para el depósito

Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu y así sucesivamente

Fuente de depósito

Cátodos de pulverización plana + catodos de arco circular

Control de las emisiones

PLC ((controlador lógico programable) + pantalla táctil                
 
(modelos de operación manual + automática + semiautomática)             

Sistema de bombeo

Pumpas de válvula rotativa: SV300B - 1 juego - ¿ Qué pasa?  

Pumpas de raíces: WAU1001 - 1 juego (Leybold)

Pompas de retención: D60C - 1 juego (Leybold)

Bomba molecular de suspensión magnética:
El número de unidades de producción es el siguiente:

Control de flujo de masa de gas

2canales: Ar y N2

El valor de las emisiones de CO2

 Inficon o Leybold

Sistema de seguridad

Numerosos bloqueos de seguridad para proteger a los operadores y equipos

Calentamiento

Las demás:20¿Qué es eso? Temperatura máxima: 450°C

El sistema de refrigeración

Refrigerador industrial (agua fría)

Power Max. ¿Qué quieres decir?  

El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero.

Consumo medio de energía

El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero.

Peso bruto 

 T (aproximadamente)

Impresión de pie

¿Qué es eso? Cuota de mercado del producto 

 Energía eléctrica

Las líneas de AC 380V/3 fases/50HZ / 5                                             


Estructura del equipo:

Estructura del sistema de revestimiento: orientación vertical, estructura octogonal, 2 puertas para facilitar el acceso.

Sistema respetuoso con el medio ambiente, sin residuos peligrosos.

Integración total, diseño modular
Comercializado y estandarizado para la producción industrial en masa
Fuente de iones extremadamente eficiente para una fuerte adhesión y alta ionización.
Fácil operación: pantalla táctil + control PLC, una operación de toque
Diseño especial del sistema de carrusel para una deposición de alta uniformidad.
Alta productividad y estabilidad, trabajando las 24 horas del día.
Flexibles, adecuados para diferentes tamaños de placas

Componentes clave

Sistema de deposición por pulverización por magnetrón de película fina de tántalo (Ta) RTSP1000 0

Fuente de iones para el proceso de depósito asistido:


Sistema de deposición por pulverización por magnetrón de película fina de tántalo (Ta) RTSP1000 1

Fuente de iones para el proceso de iteching de plasma:

Sistema de deposición por pulverización por magnetrón de película fina de tántalo (Ta) RTSP1000 2

La máquina RT1200-FCEV es un sistema de pulverización por lotes que puede depositar varios recubrimientos duros, suaves,películas compuestas y películas lubricantes sólidas en los sustratos de materiales metálicos y no metálicosSe aplica a las industrias de vehículos de pila de combustible de hidrógeno, productos fotónicos, aeroespacial y otras industrias de nuevas energías.


Ejecuciones de las películas de deposición

Para mejorar la conductividad de la superficie;

Alta resistencia a la corrosión;

Alta resistencia al desgaste;

Alta dureza

Películas de composición hidrófoba y otras películas funcionales

Disponible para recubrimientos compuestos: películas metálicas y no metálicas.

Rango de espesor de la película de 100 nm a 12 μm, tolerancia de espesor ± 5%

Tiene una fuerte adhesión.

Tratamiento de endurecimiento superficial de las piezas de baja templanza.


Tipo de vehículo:

Orientación vertical, estructura octal, 2 puertas (delantera y trasera)

Ventajas del diseño:

  • Sistema respetuoso con el medio ambiente, sin aguas residuales industriales, contaminación del aire y del ruido;
  • Fácil operación: pantalla táctil + control PLC y programa de software único para una operación táctil, más del 80% de alarma de disparos de problemas.
  • Hasta 10 entradas y copias de seguridad de recetas de procesamiento; alta repetibilidad y diversidad.
  • Diseño especial del sistema de carrusel para una alta uniformidad de deposición de película.
  • Alta productividad y alta calidad
  • Sistema estable y fiable, funcionando 365 días * 24 horas (tiempo de mantenimiento y reparación)
  • Sistema de bombeo de eficiencia: líneas de tuberías de vacío más cortas para una velocidad máxima de tuberías con marcas de bombas europeas conocidas
  • El diseño compacto ocupa el espacio mínimo de instalación.

El equipo de Royal Tech tiene el honor de servirle con nuestro mejor servicio y conocimiento.