Máquina de la galjanoplastia del cobre PVD del óxido de aluminio, cobrizado en las hojas de cerámica, sistema de cobre de PVD de la deposición

                     Máquina del cobrizado del óxido de aluminio, cobrizado de PVD en las hojas de cerámica,  

Palabras claves: Dirija el cobre plateado, DPC, cobrizado de cerámica, capas duras de PVD, proceso de PECVD, película de DLC, diamante como la película de carbono, película óptica de la farfulla, cátodo de la farfulla del magnetrón de Gencoa, fuente de ion, PA PVD

Características del diseño de RTAC950-SP:

• Flexibilidad: forme arcos y farfulle las fuentes, dispositivos lineares de la fuente de ion que los rebordes de montaje se estandardizan para el intercambio flexible
• Flexibilidad: disponible para la variedad del depósito de metales bajos y aleaciones, capas ópticas y capas duras, capas suaves. Películas compuestas y películas de lubricante sólidas en los substratos metálicos y nos-metálico de los materiales
• Diseño directo: estructura de puerta 2, frente y abertura trasera para el mantenimiento fácil

Especificaciones técnicas

• Funcionamiento

1. Última presión del vacío: mejore que PA 8.0*10-4;

• Base la presión del vacío: PA 3.0*10-2

3. Tiempo muerto de bombeo: de la atmósfera a los minutos de 1.0×10-3 Pa≤15 (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)

4. Fuente de la deposición: Cátodos de la farfulla del magnetrón de Gencoa, cátodos dirigidos del arco, fuente de ion

5. Modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno manualmente

6. Calefacción: de temperatura ambiente hasta el máximo 500℃,

9. Fuente de ion para el proceso de PECVD y del PA PVD.

• Estructura

La máquina de la vacuometalización contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:

1. Cámara de vacío
1,1 tamaño: Profundidad interna 950m m

Altura interna: 1350m m

1,2 material: Cámara de vacío SUS304

Puerta y rebordes SUS304

La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.

Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.

1,3 escudo de la cámara: SUS304

1,4 ventana de la visión: en puertas de la cámara -2

1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío (silenciador incluyendo)

1,6 puerta: 2 sistemas, frentes y partes posteriores, material SUS304

2. Sistema de bombeo del vacío del desbaste:
Bomba de vacío rotatoria de la paleta del aceite + sosteniendo la bomba

3. Sistema de bombeo del alto vacío:

Bomba molecular de Turbo - 2 sistemas

4. Sistema eléctrico de ScreenOperation del tacto del sistema PLC+ del control y de la operación:

Proveedores:

PLC: Mitsubishi, modelo: SERIE FX-IN60MR-001

Componentes electrónicos: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema de protección de la seguridad: Dispositivos de seguridad numerosos para proteger los operadores y el equipo (agua, gas actual, temperatura etc.)

La capa procesa el sistema: Automatización de proceso y control. Ahorrado automáticamente en la memoria por 3 meses. Datos de capa ofrecidos de las recetas: la corriente de la operación de la blanco/el voltaje, flujo total, presión del vacío, temperatura, las épocas de capa se ahorra para que un análisis aumente la calidad de las capas.

4,1 circuito de la tubería: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie

4,2 fuente de alimentación: Poder de la farfulla de la frecuencia intermedia + poder del arco de DC + fuente de alimentación diagonal

4,3 sistema de control de la deposición

4,4 sistema de la operación: Pantalla táctil + PLC, control y registración de datos, cierre auto, evacuación auto, capa auto de la receta

4,5 sistema de medición

Presión del vacío: Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador + indicador de vacío de la gama completa -- Marca de Europa

Aparato de medición de la temperatura: Termopar
MFC: Regulador del flujo total (4 maneras),

4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación

4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador de la corriente de la carga

5. sistema de la deposición

5,1 fuente de la deposición: Fuentes del arco de la farfulla cathodes+ + fuente de ion

5,2 material de la deposición: ITO, titanio, Chrome, aluminio, acero inoxidable, TiAl etc.

6. Subsistema

6,1 sistema de control comprimido de la válvula del aire

6,2 circuito de agua de enfriamiento: Sistema de la válvula del tubo y del interruptor de la corriente

7. Ambiente de trabajo

Aire comprimido: 5~8kg/cm2

Agua de enfriamiento: Agua-en temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Agua-en la presión: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 130kVA, consumo de energía media: 60KW

Área de la instalación: (L*W*H) 4400*3200*2950m m

Extractor: Respiradero para las bombas mecánicas

Usos

Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.