La pulverización magnética se utiliza ampliamente para depositar metales refractarios como el tántalo, el titanio, el tungsteno,Niobio, que requeriría temperaturas de deposición muy altas, y metales preciosos: oro y plata y que también se utiliza para la deposición de metales con puntos de fusión más bajos como cobre, aluminio, níquel, cromo, etc.
El tántalo es el más utilizado en la electrónicaindustriacomo recubrimiento protector debido a su buena resistencia a la erosión.
Aplicaciones de la película delgada de tántalo pulverizado:
1- industria de la microelectrónica, ya que las películas pueden ser pulverizadas reactivamente y, por lo tanto, se puede controlar la resistividad y el coeficiente de temperatura de la resistencia;
Ventajas técnicas
Sistema de deposición de pulverización de tantalo estandarizado de Royal Technology: RTSP1000
| Configuraciones principales | |
| Modelo | RTSP1000 |
| La tecnología |
Pulso de pulsos de magnetrón de corriente continua Revestimiento de arco catódico (opcional, determinado por el proceso de recubrimiento) |
| Material de las cámaras | Acero inoxidable (S304) |
| Tamaño de la cámara | Se aplicarán las siguientes medidas: |
| Tipo de cámara | Forma D, cámara cilíndrica |
| Sistema de rotación de la plataforma y de los jigs | Sistema de conducción por satélite o sistema de conducción central |
| Las fuentes de energía eléctrica |
Fuente de alimentación de pulverización de CC: 2 ~ 4 juegos Fuente de iones: 1 juego |
| Material para el depósito | Ta, Ti/Cr/TiAl, Au, Ag, Cu, etc. |
| Fuente de depósito | Cátodos de pulverización plana + cátodos de arco circular |
| Control de las emisiones | PLC (controlador lógico programable) + IPC (modelos de operación manual + automática + semiautomática) |
| Sistema de bombeo | Pampilla de válvula rotativa: SV300B 1 juego (Leybold) |
| Pumpas de raíces: WAU1001 1 juego (Leybold) | |
| Pompas de retención: D60C 1 juego (Leybold) | |
| Bomba molecular de suspensión magnética: El objetivo de la medida es el mantenimiento de la seguridad de los vehículos. |
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| Control de flujo de masa de gas | 2 canales: Ar y N2 |
| El valor de las emisiones de CO2 | Inficon o Leybold |
| Sistema de seguridad | Numerosos bloqueos de seguridad para proteger a los operadores y equipos |
| Calentamiento | Calentadores: 20 kW. Temperatura máxima: 450 °C |
| El sistema de refrigeración | Refrigerador industrial (agua fría) |
| Power Max. ¿Qué quieres decir? | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
| Consumo medio de energía | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
| Peso bruto | T (aproximadamente) |
| Impresión de pie | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Energía eléctrica |
Las líneas de AC 380V/3 fases/50HZ / 5 |
En el interior:
Tiempo de construcción: 2018
Ubicación: China
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