El magnetrón que farfulla es ampliamente utilizado depositar los metales refractarios como el tantalio, el titanio, el tungsteno, el niobio, que requerirían mismas temperaturas altas de la deposición, y los metales preciosos: El oro y la plata y cuál también se utiliza para la deposición de metales más de temperatura de fusión baja de los puntos como el cobre, aluminio, níquel, el cromo etc.
El tantalio se utiliza más en la industria electrónica como capa protectora debido a su buena resistencia a la erosión.
Usos de la película fina del tantalio Sputtered:
1. la industria de la microelectrónica como las películas pueden ser farfulladas reactivo y así el coeficiente de la resistencia y de temperatura de resistencia pueden ser controlados;
Ventajas técnicas
Sistema estandardizado de la deposición de la farfulla del tantalio de la tecnología real: RTSP1000
Configuraciones principales | |
MODELO | RTSP1000 |
TECNOLOGÍA |
Farfulla pulsada del magnetrón de DC Galjanoplastia catódica del arco (para la opción, determinada cubriendo proceso) |
MATERIAL DE LA CÁMARA | Acero inoxidable (S304) |
TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1000*1600mm (h) |
TIPO DE LA CÁMARA | Forma de D, cámara cilíndrica |
ESTANTE DE LA ROTACIÓN Y SISTEMA DE LA PLANTILLA | Conducción por satélite o sistema de conducción central |
FUENTES DE ALIMENTACIÓN |
Fuente de alimentación de la farfulla de DC: 2~4 sistemas Ion Source: 1 sistema |
MATERIAL DE LA DEPOSICIÓN | TA, Ti/Cr/TiAl, Au, AG, Cu etc. |
FUENTE DE LA DEPOSICIÓN | Cátodos planares de la farfulla + cátodos circulares del arco |
CONTROL | PLC (regulador programable de la lógica) + IPC (modelos de operación semi-autos de manual+ auto+) |
SISTEMA DE BOMBA | Vane Pump rotatoria: SV300B – 1 sistema (Leybold) |
Las raíces bombean: WAU1001 – 1 sistema (Leybold) | |
Sostener la bomba: D60C – 1 sistema (Leybold) | |
Bomba molecular de la suspensión magnética: MAG2200 – 2 más sest (Leybold) |
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PROVEA DE GAS EL REGULADOR DEL FLUJO TOTAL | 2 canales: AR y N2 |
INDICADOR DE VACÍO | Inficon o Leybold |
SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y equipmen |
CALEFACCIÓN | Calentadores: 20KW. Temporeros máximos.: 450℃ |
ENFRIAMIENTO | Refrigerador industrial (agua fría) |
MÁXIMO DEL PODER. | 100KW (aproximadamente) |
CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA | 45 kilovatios (aproximadamente) |
PESO BRUTO | T (aproximadamente) |
IMPRESIÓN DEL PIE | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILÍMETRO |
CORRIENTE ELÉCTRICA |
Línea phases/50HZ/5 de la CA 380V/3 |
Insite:
Tiempo construido: 2018
Ubicación: China
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