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Nombre De La Marca: | ROYAL |
Número De Modelo: | RTAS1200 |
Cuota De Producción: | 1 sistema |
Precio: | Negociable |
Condiciones De Pago: | L/C, D/A, D/P, T/T |
Capacidad De Suministro: | 6 sistemas por mes |
Brillo que enciende la vacuometalización de cerámica del anillo de la joyería del DPC, Al2O3/cobrizado de las placas de circuito PVD de AlN
Funcionamiento
1. Última presión del vacío: mejor que los torres 5.0×10-6.
2. Presión de funcionamiento del vacío: Torres 1.0×10-4.
3. Tiempo de Pumpingdown: a partir de 1 atmósfera a 1.0×10-4 Torr≤ 3 cámaras de los minutos (temperatura ambiente, seco, limpio y vacío)
4. Metalización del material (que farfulla + evaporación del arco): Ni, Cu, AG, Au, Ti, Zr, Cr etc.
5. Modelo de funcionamiento: Por completo automáticamente /Semi-Auto/ manualmente
Estructura
La máquina de la vacuometalización contiene terminado el sistema dominante enumerado abajo:
1. Cámara de vacío
2. Sistema de bombeo de vacío de Rouhging (paquete de la bomba del forro)
3. Sistema de bombeo de alto vacío (magnético bomba molecular de la suspensión)
4. Sistema eléctrico del control y de la operación
5. Sistema de la instalación de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema de la deposición
Características dominantes de cobre de la máquina de capa de la farfulla
1. Equipado de 8 cátodos del arco del buey y de cátodos de la farfulla de DC, cátodos de la farfulla de la frecuencia intermedia, unidad de la fuente de ion.
2. Capa de múltiples capas y de la co-deposición disponible
3. Fuente de ion para que tratamiento previo de la limpieza del plasma y deposición ayudada haz iónico aumenten la adherencia de la película.
4. De Al2O3/AlN de los substratos de la calefacción unidad de cerámica para arriba;
5. Sistema de la rotación y de la revolución del substrato, para 1 capa lateral y la capa de 2 lados.
Planta de Magnetron Sputtering Coating del tonelero en el substrato de cerámica de la radiación
El cobre que platea directo del proceso del DPC es una tecnología de capa avanzada aplicada con el LED/el semiconductor/industrias electrónicas. Un uso típico es de cerámica irradiando el substrato.
Deposición conductora de la película del tonelero en Al2O3, substratos de AlN por la tecnología de la farfulla del vacío de PVD, comparada con métodos de fabricación tradicionales: DBC LTCC HTCC, un coste de producción mucho más bajo es su alta característica.
El equipo real de la tecnología assited a nuestro cliente a convertido el proceso del DPC con éxito con tecnología de la farfulla de PVD.
La máquina de RTAC1215-SP diseñada exclusivamente para la capa conductora de cobre en microprocesadores de cerámica, placa de circuito de cerámica de la película.
¿Cómo hace capa de PVD trabajo?
El metal sólido se vaporiza o se ioniza en un ambiente del alto vacío y se deposita en los materiales eléctricamente conductores como películas de un metal puro o de la aleación del metal. Cuando un gas reactivo, tal como nitrógeno, oxígeno o un gas hidrocarburo-basado se introduce al vapor metálico, crea el nitruro, óxido, o las capas del carburo como la corriente metálica del vapor, químicamente reaccionan con los gases. La capa de PVD se debe hacer en una cámara especializada de la reacción de modo que el material vaporizado no reaccione con ninguna contaminantes que estarían de otra manera presente en el cuarto.
Durante el proceso de la capa de PVD, los parámetros de proceso se supervisan y se controlan de cerca de modo que la dureza resultante de la película, la adherencia, la resistencia química, la estructura de la película, y otras propiedades sean repetibles para cada funcionamiento. La diversa capa de PVD se utiliza para aumentar resistencia de desgaste, para reducir la fricción, para mejorar aspecto, y alcanza otros aumentos del funcionamiento.
Para depositar los materiales de la pureza elevada tales como titanio, el cromo, o el circonio, plata, oro, aluminio, cobre, acero inoxidable, el proceso físico de la capa de PVD utiliza uno de varios diversos métodos de capa de PVD, incluyendo:
Evaporación del arco
Evaporación termal
DC/MF que farfulla (el bombardeo de iones)
Ion Beam Deposition
Galjanoplastia del ion
Farfulla aumentada
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones de capa totales.