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| Nombre De La Marca: | ROYAL |
| Número De Modelo: | RTSP |
| Cuota De Producción: | 1 set |
| Capacidad De Suministro: | 10 juegos por mes |
Máquina de recubrimiento por pulverización PVD de tántalo, películas de tántalo depositadas por pulverización por magnétono de corriente continua, recubrimiento PVD de tántalo
El tántalo se utiliza más ampliamente en la industria electrónica y como recubrimiento protector en muchas industrias debido a su buena resistencia a la erosión.
Las películas de tántalo pulverizadas se utilizan ampliamente en el
1- industria de la microelectrónica, ya que las películas pueden ser pulverizadas reactivamente y, por lo tanto, la resistividad y el coeficiente de temperatura de la resistencia se pueden controlar;
2Instrumentos médicos como los implantes corporales por su alta propiedad de biocompatibilidad.
3. recubrimientos de piezas resistentes a la corrosión, tales como termopunchos, cuerpos de válvulas y elementos de sujeción;
El tántalo pulverizado también se puede utilizar como una barrera de resistencia a la corrosión eficaz si el recubrimiento es continuo, defectuoso y se adhiere al sustrato..
RTAS1000 Ventajas técnicas
1. Plug-in Sistema de diseño integrado para una instalación rápida
2. Siemens PLC,CPU; con hardware de control y operación de PC industrial
3Disponible para monitoreo y diagnóstico remoto.
4. Flexible, listo para su actualización
5. Múltiples cátodos para una velocidad de deposición rápida
Más beneficios de la máquina:
Diseño robusto, calidad estable, ciclo rápido, tiempo de ciclo rápido, alta velocidad de deposición
| Configuraciones principales | |
| Modelo | RTAS1000 |
| La tecnología | Pulverización de magnetrones de CC + recubrimiento de arco catódico |
| Material de las cámaras | Acero inoxidable (S304) |
| Tamaño de la cámara | Se aplicarán las siguientes medidas: |
| Tipo de cámara | Forma D, cámara cilíndrica |
| Sistema de rotación de la plataforma y de los jigs | Sistema de conducción por satélite o sistema de conducción central |
| Las fuentes de energía eléctrica | Fuente de alimentación de pulverización de CC: 2 ~ 4 juegos Bias Fuente de alimentación: 1 juego Arco Fuente de alimentación: 11 juegos |
| Material para el depósito | Ti/Cr/TiAl, Ta, Au, Ag, Cu, etc. |
| Fuente de depósito |
Cátodos de pulverización plana + cátodos de arco circular Observación: se puede utilizar un pulverizador cilíndrico de CC. |
| Control de las emisiones | PLC ((controlador lógico programable) + pantalla táctil (modelos de operación manual + automática + semiautomática) |
| Sistema de bombeo | Pampilla de válvula rotativa: SV300B - 1 juego (Leybold) |
| Pumpas de raíces: WAU1001 - 1 juego (Leybold) | |
| Pompas de retención: D60C - 1 juego (Leybold) | |
| La bomba molecular de suspensión magnética: MAG2200 - 2 sest (Leybold) | |
| Control de flujo de masa de gas | 4 canales, hechos en China, modelo digital de siete estrellas (serie CS, ) (Ar, N2, O2, C2H2) |
| El valor de las emisiones de CO2 | Modelo: ZDF-X-LE, fabricado en China |
| Sistema de seguridad | Numerosos bloqueos de seguridad para proteger a los operadores y equipos |
| Calentamiento | Calentadores: 20 kW. Temperatura máxima: 450 °C |
| El sistema de refrigeración | Refrigerador industrial (agua fría) |
| Power Max. ¿Qué quieres decir? | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
| Consumo medio de energía | El valor de las emisiones de gases de efecto invernadero es el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero. |
| Peso bruto | T (aproximadamente) |
| Impresión de pie | (L*W*H) 4000*4000*3600 MM |
| Energía eléctrica | Las líneas de AC 380V/3 fases/50HZ / 5 |
Cátodos de pulverización cilíndrica Cátodos de pulverización plana
Por favor, póngase en contacto con nosotros para más especificaciones, Royal Technology tiene el honor de proporcionarle soluciones de revestimiento total.
Descargue el folleto aquí:Sistema de deposición por pulverización magnética.pdf
Aplicación del sistema de deposición de pulverización magnética...
