Máquina de deposición por pulverización catódica de magnetrón de metal puro de CC, máquina de deposición de película ultrafina de cobre/plata/oro/grafito
Actuación
1. Presión máxima de vacío: mejor que 5,0 × 10-6Torr.
2. Presión de vacío de funcionamiento: 1,0 × 10-4Torr.
3. Tiempo de bombeo: de 1 atm a 1,0×10-4Torr≤ 3 minutos (temperatura ambiente, cámara seca, limpia y vacía)
4. Material de metalización (pulverización + evaporación por arco): Ni, Cu, Ag, Au, Ti, Zr, Cr, etc.
5. Modelo operativo: completamente automático/semiautomático/manualmente
Estructura
La máquina de recubrimiento al vacío contiene el sistema completo clave que se detalla a continuación:
1. Cámara de vacío
2. Sistema de bombeo de vacío Rouhging (paquete de bomba de respaldo)
3. Sistema de bombeo de alto vacío (bomba molecular de suspensión magnética)
4. Sistema de operación y control eléctrico
5. Sistema de instalaciones auxiliares (subsistema)
6. Sistema de Deposición
Características clave de la máquina de recubrimiento por pulverización catódica de cobre
1. Equipado con 8 cátodos de arco de dirección y cátodos de pulverización de CC, cátodos de pulverización de MF, unidad de fuente de iones.
2. Revestimiento multicapa y codeposición disponible
3. Fuente de iones para pretratamiento de limpieza con plasma y deposición asistida por haz de iones para mejorar la adhesión de la película.
4. Unidad de calentamiento de sustratos de cerámica/Al2O3/AlN;
5. Sistema de rotación y revolución de sustrato, para recubrimiento de 1 cara y recubrimiento de 2 caras.
Planta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón de Cooper sobre sustrato radiante de cerámica
El proceso DPC: Direct Plating Copper es una tecnología de recubrimiento avanzada que se aplica a las industrias de LED, semiconductores y electrónica.Una aplicación típica es el sustrato radiante de cerámica.
La deposición de película conductora de Cooper sobre sustratos Al2O3, AlN mediante tecnología de pulverización catódica al vacío PVD, en comparación con los métodos de fabricación tradicionales: DBC LTCC HTCC, su característica principal es un costo de producción mucho más bajo.
El equipo de tecnología real ayudó a nuestro cliente a desarrollar con éxito el proceso DPC con la tecnología de pulverización catódica PVD.
La máquina RTAC1215-SP diseñada exclusivamente para recubrimiento de película conductora de cobre en chips de cerámica, placa de circuito de cerámica.
Comuníquese con nosotros para obtener más especificaciones, Royal Technology tiene el honor de brindarle soluciones de recubrimiento total.
