Planta de recubrimiento por pulverización catódica Ni PVD, Sistema de metalización al vacío Cr, Equipo de recubrimiento al vacío Sn/Ag, Planta de recubrimiento de cobre
Estructura del equipo:
La máquina RTAC1215-SP es de tipo octcal, que consta de bombas de vacío, cámara de vacío que monta 8 cátodos de arco, 1 fuente de iones lineal, 2 juegos de cátodos de pulverización de CC y 1 par de cátodos de pulverización de MF.La fuente de iones, las bridas montadas en los cátodos de pulverización catódica están estandarizadas y se pueden intercambiar de manera flexible en función de la demanda real del proceso de recubrimiento.
Aplicaciones:
1. Industria de DPC para piezas de sellado de cerámica, proceso de DPC, sistema de pulverización de PVD de cobre, chips de cerámica LED con revestimiento de cobre, Al2O3, placas de circuito de cerámica AlN, placas Al2O3 en LED, semiconductor
2. Películas metálicas de plata, Ni, cromo, oro, aluminio, In, Sn, etc. y TiN, TiAlN, TiC, TiO, CrC, CrCN, CrN, etc.
ventajas:
1. Producción rentable
2. Humanización del puesto de trabajo (diseño ergonómico del puesto de trabajo, minimización del espacio, ruido y peligro de accidente)
3. Rendimiento de alta calidad.
4. Fuerte adherencia con un potente dispositivo de calentamiento y limpieza de fuente de plasma;
5. Diseño compacto y de fácil acceso para trabajos de actualización y mantenimiento.
6. Automatización completa, pantalla táctil PLC+, sistema de control de un solo toque.
7. Alta eficiencia con menor consumo de energía, máx.Ahorro del 50% en costes de producción.
Especificaciones técnicas:
1. Presión máxima de vacío: mejor que 9,0*10-5Pensilvania;
3. Tiempo de bombeo: de atm a 1.0×10-3Pa≤15 minutos (temperatura ambiente, cámara seca, limpia y vacía)
4. Fuente de deposición: cátodos de pulverización catódica de magnetrón Gencoa, cátodos de arco dirigido, fuente de iones
5. Modelo operativo: completamente automático/semiautomático/manualmente
6. Calefacción: desde temperatura ambiente hasta máx.500 ℃,
9. Fuente de iones para proceso PECVD y PA PVD.
La máquina de recubrimiento al vacío contiene el sistema completo clave que se detalla a continuación:
1. Cámara de vacío
1.1 Tamaño: Diámetro interior: 1200 mm
Altura interior: 1500 mm
1.2 Material: Cámara de vacío SUS304
Puerta y bridas SUS304
Estructura de refuerzo de la cámara: acero dulce SS41, con tratamiento superficial de acabado pintado.
Chasis de cámara de acero dulce SS41 con tratamiento superficial de acabado pintado.
1.3 Escudo de cámara: SUS304
1.4 Ventana de visualización: 2 en la puerta
1.5 Válvula de ventilación de la cámara de vacío (incluido el silenciador)
1.6 Puerta: material SUS304
2. Sistema de bombeo de vacío de desbaste:
Bomba de vacío de paletas rotativas de aceite + bomba de retención
Bomba molecular de suspensión magnética - 2 juegos
4. Sistema de operación y control eléctrico- Sistema de operación de pantalla táctil PLC+:
Proveedores:
PLC: Mitsubishi + Pantalla táctil (Hecho en China)
Componentes electrónicos: SCHNEIDER, OMRON.
Sistema de protección de seguridad:Numerosos enclavamientos de seguridad para proteger a los operadores y equipos (agua, corriente de gas, temperatura, etc.)
Sistema de procesos de recubrimiento: Automatización y Control de Procesos.
4.1 Circuito principal: interruptor disyuntor sin fusibles, interruptor electromagnético, tipo C/T en serie
4.2 Fuente de alimentación: potencia de pulverización de CC/MF + potencia de arco de CC + fuente de alimentación de polarización
4.3 Sistema de control de deposición
4.4 Sistema operativo: pantalla táctil + PLC, control de recetas y registro de datos, apagado automático, evacuación automática, revestimiento automático
4.5 Sistema de medición
Presión de vacío: Manómetro de vacío: Pirani + Manómetro Penning + Manómetro de vacío de rango completo - Marca europea
Dispositivo de medición de temperatura: Termopar
MFC: controlador de flujo másico (4 vías),
4.6 Sistema de alarma: presión de aire comprimido, flujo de agua de refrigeración, mal funcionamiento
4.7 Indicador de carga de energía: indicador de voltaje e indicador de corriente de carga
5.Sistema de deposición
5.1 Fuente de deposición: cátodos de pulverización catódica + fuentes de arco + fuente de iones
5.2 Material de deposición: cobre, aluminio, cromo, plata, oro, SS, titanio, etc.
6.Subsistema
6.1 Sistema de control de válvulas de aire comprimido
6.2 Sistema de agua de refrigeración: tubería de flujo de agua y sistema de válvula de conmutación
Aire comprimido: 5~8kg/cm2
Agua de refrigeración: Temperatura de entrada de agua: 20~25 ℃, 200 litros/min,
Presión de entrada de agua: 2~3 kg/cm2,
Potencia: 3 fases 380 V 50 Hz (60 Hz), 130 kVA, consumo medio de energía: 60 KW
Área de instalación: (L*W*H)4400*3200*2950mm
Escape: Venteo para bombas mecánicas
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