Máquina de capa de la farfulla del magnetrón del oro del Au en las obleas de silicio, diapositiva de cristal, hojas de cerámica
Magnetrón del oro del Au que farfulla en las obleas de silicio
Resumen:
Las características de la capa de la farfulla del oro:
1. La capa obligatoria es esencial aumentar el substrato y la adherencia de película metálica. La tecnología real ha desarrollado una gama de recetas de capa maduradas basadas en diversos usos, apoya a nuestros clientes con consejo profesional.
2. La aspereza (RMS - media cuadrada de la raíz) < 40="">
4. Pureza superficial de la capa de la farfulla del oro: una superficie limpia se requiere para los usos que emplean las modificaciones superficiales del oro. Dependiendo del PVD procese utilizado, llano del vacío en el sistema, la pureza original de la fuente del oro (sobre 99,99% generalmente)
Palabras claves: Deposición de la película fina de la nano-estructura del oro del Au, magnetrón que farfulla, oro que farfulla, vacío de la película fina del oro de PVD del oro que metaliza el sistema
Usos:
El laboratorio de universidades, departamento del R&D de los materiales del metal fabrica, los centros de servicio de la vacuometalización de PVD, usados sobre todo en industria de electrónica como capa conductora y las ciencias para los especímenes etc. del microscopio.
Especificaciones técnicas:
| MODELO | RTAC0808-SP |
| TECNOLOGÍA | DC que farfulla + fuente de ion (para la opción) |
| MATERIAL | Acero inoxidable (S304) |
| TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ800*H800mm |
| TIPO DE LA CÁMARA | Cilindro, vertical, 1 puerta |
| SISTEMA ROTATORIO DEL ESTANTE | Conducción planetaria/central |
| MATERIAL DE LA DEPOSICIÓN | Oro, aluminio, plata, cobre, Chrome, acero inoxidable, níquel, titanio |
| FUENTE DE LA DEPOSICIÓN | Cátodos cilíndricos/planares de la farfulla: 2 o 3 para las fuentes del arco de option.+ 3 |
| CONTROL DE GAS REACTIVO | MFC, 2/4 de las maneras |
| CONTROL | PLC (regulador programable de la lógica) + Pantalla táctil |
| SISTEMA DE BOMBA | SV300B - 1 ³ /hr del sistema (Leybold) los 300m |
| Bomba de las raíces - 1 sistema, 150L/S | |
| Sosteniendo la bomba - 1 sistema, ³ /hr de los 60m | |
| Bomba molecular de Turbo: - 1 sistema, 3500L/S | |
| FUENTE DE ALIMENTACIÓN |
Fuente de alimentación diagonal: Kilovatio 1*24 Poder de la farfulla de DC: 2*24KW |
| SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger a operadores y equipo |
| ENFRIAMIENTO | Recicle el agua de enfriamiento |
| CALEFACCIÓN | Calentadores, 9KW |
| PODER ELÉCTRICO | 480V/3 phases/60HZ (los E.E.U.U. obedientes) |
| 460V/3 phases/50HZ (Asia obediente) | |
| 380V/3 phases/50HZ (EU-CE obediente) | |
| HUELLA | L3200*W2600*H2000mm |
| PESO TOTAL | 3,0 T |
| DURACIÓN DE CICLO | 30~40 minutos (dependiendo del material del substrato, geometría del substrato y condiciones ambientales) |
| MÁXIMO DEL PODER. | 50KW |
| CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA (APROXIMADAMENTE) | 20KW |
Obleas del chapado en oro de PVD
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.
