Oro, plata y cobre Máquina de deposición por pulverización de cerámica PVD,

Equipo de deposición de pulverización de oro, máquina de deposición de PVD de plata/oro, sistema de pulverización de PVD con película conductiva 

Resumen:El proceso de DPC- Direct Plating Copper es una tecnología de recubrimiento avanzada aplicada en las industrias de LED / semiconductores / electrónicos.Deposición de película conductora de cobre sobre óxido de aluminio (Al2O3)Substratos de AlN mediante tecnología de pulverización al vacío PVD, en comparación con la fabricación tradicional

Métodos: DBC LTCC HTCC, cuyo coste de producción es mucho más bajo es su característica alta.

El equipo de tecnología real ayudó a nuestro cliente a desarrollar el proceso DPC con éxito con tecnología de pulverización PVD.

Palabras clave:Las partes cerámicas de sellado, proceso DPC, sistema de pulverización de cobre PVD, chips cerámicos LED con recubrimiento de cobre, Al₂¿ Qué?₃, placas de circuito cerámico AlN, placas de Al2O3 en LED, semiconductor

Las aplicaciones deEl DPC:

· HBLED

· Substrato para células de concentradores solares

· Envases de semiconductores de potencia, incluido el control del motor del automóvil

· Electrónica de gestión de energía de los automóviles híbridos y eléctricos

· Paquetes para RF

· Aparatos de microondas

Desempeño de la tecnología DPC

Varios materiales de sustrato: Cerámica (Al3O2, AlN), Vidrio y Si

• Mucho menor costo de producción.
• Excelente gestión térmica y rendimiento de transferencia de calor
• Alineación y diseño de patrones precisos
• Adhesión de metalización robusta

Características:

• Un alto rendimiento de hasta 2,2 m2 de sustrato cerámico por ciclo;
• Adhesión fuerte con un potente dispositivo de calentamiento y limpieza de la fuente de plasma;
• Diseño compacto y fácil acceso para trabajos de mejora y mantenimiento.
• Totalmente automatizada, PLC + pantalla táctil, sistema de control de un solo toque.
• Alta eficiencia con menor consumo de energía, ahorro de costes de producción de hasta el 50%.

Especificaciones técnicas

• Desempeño

1Presión de vacío final: superior a 9,0*10^-5¿ Qué pasa?

• Presión de vacío base: 3,0*10^-2¿ Qué pasa?

3. Pompando hacia abajo Tiempo: desde atm a 1.0 × 10^-3Pa≤15 minutos (temperatura ambiente, cámara seca, limpia y vacía)

4Fuente de deposición: catodos de pulverización de magnetrones de Gencoa, catodos de arco dirigido, fuente iónica

5Modelo de funcionamiento: automático completo / semiautomático / manual

6- calefacción: desde la temperatura ambiente hasta 500°C,

9Fuente de iones para el proceso PECVD y PA PVD.

• Estructura

La máquina de recubrimiento al vacío contiene el sistema completo clave que se indica a continuación:

1. Cámara de vacío

1.1 Tamaño: Diámetro interno: 1200 mm

Alturas interiores: 1500 mm

1.2 Material: cámara de vacío SUS304

Puertas y bridas SUS304

Estructura de refuerzo de la cámara: acero suave SS41, con tratamiento de superficie de acabado pintado.

Chasis de cámara de acero suave SS41 con tratamiento de superficie de acabado pintado.

1.3 Escudo de cámara: SUS304

1.4 Vista de la ventana: 2 en la puerta

1.5 Válvula de ventilación de cámara de vacío (incluido el silenciador)

1.6 Puerta: material SUS304

2- ¿ Por qué?el gingoSistema de bombeo de vacío:

Bomba de vacío de lámina giratoria de aceite + Bomba de retención
 

3Sistema de bombeo de vacío alto: Bomba molecular de suspensión magnética - 2 juegos

4Sistema eléctrico de control y operación- PLC + Sistema de operación de pantalla táctil:

Los proveedores:

PLC: Mitsubishi + pantalla táctil (Hecho en China)

Componentes electrónicos: SCHNEIDER, OMRON.

Sistema de protección de seguridad:Numerosos bloqueos de seguridad para proteger a los operadores y el equipo (agua, corriente de gas, temperatura, etc.)

Sistema de procesos de recubrimiento: Automatización y control de procesos.

4.1 Circuito principal: interruptor de interruptor sin fusible, interruptor electromagnético, C/T en serie

4.2 Fuente de alimentación: potencia de pulverización CC/MF + potencia de arco CC + fuente de alimentación de sesgo

4.3 Sistema de control de la deposición

4.4 Sistema de funcionamiento: pantalla táctil + PLC, control de recetas y registro de datos, apagado automático, evacuación automática, recubrimiento automático

4.5 Sistema de medición

Presión de vacío: Medidor de vacío: Pirani + Medidor de Penning + Medidor de vacío de gama completa -- Marca Europa

Dispositivo de medición de temperatura: termoparejo
MFC: Controlador de caudal de masa (cuatro modos ),

4.6 Sistema de alarma: presión de aire comprimido, flujo de agua de refrigeración, mal funcionamiento

4.7 Indicador de carga de potencia: indicador de voltaje e indicador de corriente de carga

5Sistema de deposición

5.1 Fuente de deposición: catodos de pulverización + fuentes de arco + fuente iónica

5.2 Material de deposición: cobre, aluminio, cromo, plata, oro, SS, titanio, etc.
 

6.Subsistema

6.1 Sistema de control de las válvulas de aire comprimido

6.2 Sistema de agua de refrigeración:Tubes de flujo de agua y sistema de válvulas de interrupción

7. Medio ambiente de trabajo

Aire comprimido: 5 a 8 kg/cm2

Agua de refrigeración: temperatura de entrada en el agua: 20~25°C, 200 litros/minuto,
Presión de entrada de agua: 2 a 3 kg/cm2,

Potencia: 3 fases 380V 50Hz ((60Hz), 130kVA, consumo de energía promedio: 60KW

El área de instalación: (L*W*H) 4400*3200*2950 mm

Exhaust: ventilación para bombas mecánicas

Por favor, póngase en contacto con nosotros para más especificaciones, Royal Technology tiene el honor de proporcionarle soluciones de revestimiento total.