Equipo de la deposición del metal del vacío del alto rendimiento, metallizer del vacío de CsI por el crisol termal
Palabras claves: alta resolución, CsI: T1; películas finas del scintillator; Proyección de imagen de la radiografía; método de la deposición de vacío, poste-deposición de la capa del carbono
La deposición de la película fina de CsI para los dispositivos de proyección de imagen de la radiografía es una técnica avanzada para evaporar CsI en la pantalla para dar un de alta calidad de la proyección de imagen. Con su funcionamiento de alta resolución, también ampliamente utilizado en temas de la física, alta de energía comprobación e inspección de la seguridad, la física de las áreas etc. de la energía nuclear.
El sistema de capa termal de la evaporación RTEP0913 fue desarrollado para la deposición de la película de CsI en proyección de imagen de la radiografía en el ambiente de la presión del alto vacío. Los scintillators del T1 de CsI que se extienden a partir del μm el 2 al μm 14 en grueso. La película de la capa del carbono se puede considerar como poste-deposición para mejorar altas resoluciones.
Funcionamiento y caracterizaciones de la deposición de vacío del yoduro del cesio (T1 de CsI)
Tipo:
l orientación vertical, cilindro, 1 puerta, abertura delantera.
Características del diseño:
l última presión ultraalta del vacío: hasta PA 9.0*10-5;
l de la calefacción dispositivos rápidos para arriba para una buena adherencia;
l sistema apropiado de la selección y de bombeo de la bomba de alto vacío a evitar para aventurar material expuesto en el aire;
sistema robusto, compacto y sólido de l de capa;
l alta estabilidad, trabajando 960 horas sin parada.
l dispositivo del regulador del espesor del film de Inficon para supervisar el espesor del film en línea.
l crisoles diseña exclusivamente y selección para la deposición de CsI.
l substratos que cubren, tamaño máximo: 500*500m m
l avanzó conceptos de diseño del estante puede cargar los substratos de 2 pedazos por el lote, aumenta altamente la salida de la producción.
Especificaciones técnicas:
l funcionamiento
1. última presión del vacío: mejor que PA 9.0*10-5;
2. presión de funcionamiento del vacío: PA 6,0*10-4 ~ PA9,0*10-4;
Presión baja del vacío: PA 3,0*10-4
3. Tiempo muerto de bombeo: a partir ≤ del PA 1 atmósfera a 2,0×10-325 cámaras de los minutos (temperatura ambiente, seco, limpio y vacío)
4. Fuente de la deposición: evaporación termal del crisol del cuarzo
5. Modelo de funcionamiento: Por completo automáticamente /Semi-Auto/ manualmente
6. Calefacción: de temperatura ambiente hasta 1000℃ máximo,
Substrato de cristal de TFT que calienta para arriba tiempo: de 0~250℃<40mins>
7. Tarifa de deposición de CsI: 0~100nm/sec
8. CsI: Espesor del film T1: los hasta 600μm
l estructura
La máquina de la vacuometalización contiene terminado el sistema dominante enumerado abajo:
1. Cámara de vacío
1,1 tamaño: Diámetro interno 900milímetros
Altura interna: 1300 milímetros
1,2 material: Cámara de vacío SUS304
Puerta y rebordes SUS304
La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.
Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.
1,3 escudo de la evaporación: SUS304
1,4 ventana de la visión: en puerta de la cámara
1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío (silenciador incluyendo)
1,6 puerta: Material SUS304
2. Sistema de bombeo del vacío del desbaste:
La bomba + las raíces rotatorias de vacío de la paleta del aceite bombean (Alemania Pfeiffer)
3. sistema de bombeo del alto vacío:
Bomba molecular de la suspensión magnética (Alemania Pfeiffer)
4. Pantalla táctil eléctrica del sistema PLC+ del control y de la operación
4,1 circuito principal: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie
4,2 poder de la evaporación
4,3 sistema de control de la evaporación
4,4 sistema de la operación: Pantalla táctil + PLC, control y registración de datos, cierre auto, evacuación auto, capa auto de la receta
4,5 sistema de medición
Presión del vacío: Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador + indicador de vacío de la gama completa
Aparato de medición de la temperatura: Termopar
Regulador del espesor del film: Marca de Inficon, SQC-310
4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación
4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador actual de la carga
5. sistema de la deposición
5,1 fuente de la deposición: crisol del cuarzo
5,2 material de la deposición: CsI, carbono
6. Subsistema
6,1 el aire comprimió el sistema de control de la válvula
6,2 circuito de agua de enfriamiento: Sistema de la válvula del tubo y del interruptor de la corriente
Ambiente de trabajo
Aire comprimido: 5~8kg/cm2
Agua de enfriamiento: Agua-en temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Agua-en la presión: 2~3 kg/cm2,
Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 65KVA, consumo de energía media: 30KW
Área de la instalación: (L*W*H) 3000*200*2300milímetros
Extractor: Respiradero para las bombas mecánicas
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones de capa totales.
