Farfulla del sistema de la deposición de la película fina de PVD y equipo de evaporación termal de la vacuometalización
Sistema de la deposición de la película fina de PVD, farfulla y equipo de evaporación termal de la vacuometalización
El sistema de la deposición de la película fina de PVD contiene las fuentes de la deposición de fuente de la evaporación del filamento del tungsteno y el magnetrón de DC farfulla fuentes (los cátodos de la farfulla del RF están para la opción). Este equipo se utiliza sobre todo para depositar las películas finas en partes, vidrio, metal u hojas plástico con los materiales de depósito como: Al del metal, Cr, Cu, AG, Au, fuentes puros de la evaporación del Ti etc. generalmente para obtener las altas películas finas reflexivas en superficies de los productos o las películas conductoras, o para dar una imagen metálica de la perspectiva. Salvo que, las fuentes de la farfulla condensan una amplia gama de materiales y de dieléctricos del semiconductor incluyendo los óxidos conductores transparentes, el etc.
Configuraciones de sistema de la deposición de la película fina de PVD:
Funcionamiento
1. Última presión del vacío: mejore que los torres 5.0×10-6.
2. Presión de funcionamiento del vacío: Torres 1.0×10-4.
3. Bombeando tiempo muerto a partir de 1 atmósfera a los minutos de 1.0×10-4 Torr≤3 (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)
4. Metalización del material (evaporación): Al, Cr, Sn, Ti, SS, Cu… etc.
5. Modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno manualmente
estructura del l
La máquina de la vacuometalización contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:
1. Cámara de vacío
1,1 tamaño: Diámetro interno 1600m m
Altura interna 1600m m
1,2 material: Cámara de vacío SUS304 (acero suave SS41 para la opción)
Puerta y rebordes SUS304 (acero suave SS41 para la opción)
La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.
Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.
1,3 escudo: SUS304
1,4 ventana de la visión: en puerta de la cámara
1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío, incluyendo el silenciador
1,6 material de la puerta SUS304
2. Sistema de bombeo del vacío de Rouhging
3. Sistema de bombeo del alto vacío
4. Pantalla táctil eléctrica del sistema PLC+ del control y de la operación
4,1 circuito de la tubería: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie
4,2 poder de la evaporación: 35kVA
4,3 sistema de control de la evaporación
4,4 sistema de la operación: Pantalla táctil + PLC, control y registración de datos, cierre auto, evacuación auto, capa auto de la receta
4,5 sistema de medición de la presión del vacío
Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador
Indicador del termopar: 760 torres ~ torres 5*10-4
4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación
4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador de la corriente de la carga
5. Sistema de la deposición
5,1 fuente de la evaporación del filamento del tungsteno
5,2 materiales termales de la evaporación: alambres, anillos, barras etc.
5,3 farfulle las fuentes (DC/MF accionados por motor)
6. Subsistema
6,1 sistema de control comprimido de la válvula del aire
6,2 sistema de la válvula del tubo y del interruptor del flujo del Sistema-agua del agua de enfriamiento
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