Sic sistema de la farfulla del módulo PECVD de Fuel Cell/equipo de la capa de la farfulla del magnetrón de Fuel Cell del hidrógeno
Sic especificaciones de sistema de la farfulla del módulo de Fuel Cell
| MODELO | RTSP1213-DC | |||||||||
| MATERIAL | Acero inoxidable (S304) | |||||||||
| TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1250 * 1350m m (h) | |||||||||
| TIPO DE LA CÁMARA | Frente y parte posterior 2 - estructura de puertas, vertical | |||||||||
| SOLO PAQUETE DE LA BOMBA | Bomba de vacío de pistón rotatorio | |||||||||
| Bomba de vacío de raíces | ||||||||||
| Bomba molecular de la suspensión magnética | ||||||||||
| Bomba de paleta rotatoria (que sostiene la bomba) | ||||||||||
| TECNOLOGÍA | Magnetrón que farfulla, fuente de ion PECVD | |||||||||
| FUENTE DE ALIMENTACIÓN | Fuente de alimentación de la farfulla + fuente de alimentación + fuente de ion diagonales | |||||||||
| FUENTE DE LA DEPOSICIÓN | cátodos de la farfulla de 2 pares DC/RF + (2 pares del repuesto usando) + fuente de ion | |||||||||
| CONTROL | Pantalla de PLC+Touch | |||||||||
| GAS | Gas metros de flujo total (AR, N2, C2H2, O2) argón, nitrógeno y Ethyne, oxígeno | |||||||||
| SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y el equipo | |||||||||
| ENFRIAMIENTO | Agua de enfriamiento | |||||||||
| LIMPIEZA | Descarga de resplandor/fuente de ion | |||||||||
| MÁXIMO DEL PODER. | 150KW | |||||||||
| CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA | 75KW |
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Sic el sistema de la farfulla del módulo de Fuel Cell se diseña y se desarrolla exclusivamente para el uso de los vechiles de FCV. FCV es el nombre corto del vehículo de Fuel Cell, él es la tecnología más nueva para la siguiente generación de coches verdes. Puede generar energía eléctrica continuamente por la reacción electroquímica entre el oxígeno y el hidrógeno. Es diferente de la batería primaria tal como pila seca y de la batería recargable que necesita repetir la carga.
La tecnología de base es cómo generar la energía eléctrica con el módulo de poder de la pila de combustible con la reacción electroquímica entre el hidrógeno como combustible y el oxígeno.
La pila de combustible del hidrógeno como la mayoría de la parte importante dominante del módulo de poder, científicos, ingenieros, profesores de organizaciones del transporte y de vehículos mundiales fabrica ha hecho pruebas de los millares y finalmente encontró el proceso apropiado.
Sistema de la farfulla del módulo de poder de Fuel Cell del hidrógeno con la tecnología de PECVD (deposición de vapor químico aumentada plasma) para depositar la alta uniformidad, películas sic finas fuertes de la adherencia.
La máquina de la farfulla de la pila de combustible del hidrógeno contiene cátodos equilibrados/unblanced de la fuente de ion, de la farfulla; con el sistema de bombeo estable y de gran capacidad del vacío.
El sistema diseñado especial del estante y de la plantilla puede tomar hacia fuera-movimiento adentro totalmente para un cargamento conveniente de los substratos/descargar.
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.
