Máquina de capa de la farfulla del magnetrón de PVD
1. El magnetrón que farfulla es un proceso de la capa del plasma donde farfullando el material es expulsado debido al bombardeo de iones a la superficie de la blanco. La cámara de vacío de la máquina de capa de PVD se llena de un gas inerte, tal como argón.
2. El tipo de lote de capa del equipo de la farfulla del magnetrón contiene sigue los componentes claves:
Cátodo de la farfulla del magnetrón: Cilindro o tipo planar;
Fuente de alimentación: Pulso DC, frecuencia intermedia, RF
Fuente de ion: generalmente para las piezas plásticas/de cristal/de cerámica/de metal para el resplandor que descarga, limpieza del plasma.
Fuente de alimentación diagonal: únicos trabajos sobre los pedazos conductores del trabajo: acero, hierro, aleación de acero, zamak, aleación de aluminio, etc. de cobre amarillo.
Paquete de la bomba de vacío: Vane Pump rotatoria, bomba de pistón rotatorio, raíces bombea, bomba de difusión/bomba molecular de turbo, sosteniendo la bomba etc.
Otros: Valles de la puerta/indicadores de vacío, MFC, colocaciones y línea de la tubería del vacío, alimentación del vacío a través,
3. El equipo de capa de la serie de RTSP se utiliza para la producción de capas funcionales conductoras, no-conductoras, propósito estético.
A. Applications: Capas de ITO sobre el vidrio para las pantallas táctiles, exhibiciones; vidrio arquitectónico; industria del automóvil: ruedas y bordes de coche, espejos de coche, lámparas principales, luces de la cola, interior plástico y exteriores; vajilla y artículos de cocina, joyería, deporte y juguetes, reemplazo de agua-electrochapado.
B. materiales de revestimiento:
Metales: Ti (titanio), cromo del Cr), Zr (circonio), Cu (cobre), Al (aluminio), Ni (níquel),
SUS316 (acero inoxidable)…
Aleaciones del metal: Aleación del Ti-Al, aleación de Ni-CA (níquel-), ITO (indio Tin Oxide)
Métodos de C. Sputtering: DC/MF/RF
D. Feature: deposición a baja temperatura
4. Modelos de máquina de capa de la farfulla del magnetrón
| Modelo | Tamaño (milímetros) | Número de Roces planetarios | Poder de la farfulla (KVA) | Cátodos de la farfulla (Qty.) | Tecnología de la farfulla del magnetrón | MFC | Observación |
| RTSP-1250 | 1250xH1250 | 6 | 2* 30 DC/MF | 2 | Equilibrado, desequilibrado | 1 a 4 | Capa de alta calidad de la decoración |
| RTSP-1400 | 1400xH1250 | 6, 8 | 2*36 DC/MF | 2 | |||
| RTSP-1600 | 1600xH1250 | 6,8,12 | 2*48 DC/MF | 2 | |||
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Uso exclusivo de las industrias
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| RTSP-900 | 900xH900 | 1 | 1*12 DC | 1 | Blanco planar | 1 a 4 | Ajustes automotrices del borde, interiores y exteriores |
| RTSP-1315 | 1300xH1500 | 1 | 1*48 DC | 1 | Blanco planar | ||
| RTSP-1618 | 1600xH1800 | 2 | 2*72 DC | 2 | Blanco planar | ||
| RTSP-800 | 800xH800 | 1 | 2*50 DC | 4 | Cilindro o planar | ITO, AR | |
| RTSP-1616 | 1600xH1600 | 6,8 | 2*36 DC | 2 | Blanco planar | 2-door | |
5. Máquina de capa de la farfulla del magnetrón
Tiempo construido: 2016
Ubicación: China
Industria: Capa conductora de la película del Cu en las hojas de cerámica
6. muestras de capa de la farfulla de plata
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