Unidad experimental de la capa de la farfulla del magnetrón/máquina de capa tamaño pequeño portátil vertical de la farfulla
La tecnología real ha diseñado y diverso proporcionada de los sistemas de capa del Ultra-Alto-vacío para la enseñanza de la universidad y la investigación y desarrollo científica, estudiar diverso diverso crecimiento de película, genera películas finas NANAS más innovadoras se aplica con nuestras industrias comerciales. Nuestros clientes tienen gusto: Universidad de Shangai de China, universidad de Machanster de Reino Unido, universidad científica etc. de Pekín.
Unidades experimentales de la vacuometalización de la evaporación de Theraml: Con la capa y el electrón termales - técnicas de la evaporación de la resistencia de la evaporación del arma del haz, generar las películas conductoras, la película fina del semiconductor, la película fina óptica y el microscopio electrónico de exploración (SEM). Los dispositivos opcionales tienen gusto: Las unidades para el tratamiento previo de la limpieza del plasma, de la fuente de ion o de la fuente de ion del pasillo deposición ayudada plasma pueden generar de alta calidad de las películas del metal, de la película compuesta, de las películas orgánicas etc. Satisfaga completamente el uso del R&D. Su diseño flexible y fuentes múltiples de la deposición son acogidos con satisfacción por los investigadores.
Unidades de la vacuometalización de la farfulla del magnetrón de Experimetal: DC, frecuencia intermedia, cátodos de la farfulla del RF para el propósito del R&D puede conseguir la capa monomolecular, la película dieléctrica, la película compuesta, el semiconductor, capas múltiples, la película compuesta, y las películas etc del dieléctrico
Funcionamiento técnico de las unidades de la vacuometalización de la farfulla del magnetrón de Experimetal:
1 última presión del vacío: mejore que los torres 5.0×10-6.
2. Presión de funcionamiento del vacío: Torres 1.0×10-4.
3. Tiempo de Pumpingdown: a partir de 1 atmósfera a 1.0×10-4 Torr≤ 3 minutos (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)
4. Metalizando el Al, el Cr, el Sn, el Ti, SS, el Cu (de farfulla) materiales… etc.
5. Modelo de funcionamiento: Automáticamente /Semi-Auto/ lleno manualmente
Estructura de las unidades de la vacuometalización de la farfulla del magnetrón de Experimetal
1. Cámara de vacío
2. Sistema de bombeo de vacío de Rouhging (paquete de la bomba del forro)
3. Sistema de bombeo de alto vacío (bomba de difusión)
4. Sistema eléctrico del control y de la operación
5. Sistema de la instalación de Auxiliarry (subsistema)
6. Sistema de la deposición
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.
