Máquina de recubrimiento por pulverización al vacío de película de baja E / rollo de rollo de rollo
Nos complace proponer nuestro revestimiento de vacío de pulverización de vacío de la serie MultiWeb para cumplir con sus requisitos de deposición de múltiples capas.
Las especificaciones generales | |||||||
Cuerpo de cámara de vacío: zonas de presión múltiple de cámara única | |||||||
Carruajes móviles: | |||||||
Zona de deposición: 2 X zona de pulverización (opcional: 3 zonas de pulverización) | |||||||
Fuente de pulverización: 2 X Fuente de pulverización de doble cátodo (opcional: 3 Fuentes de pulverización de doble cátodo) | |||||||
Pre-tratador de sustrato: Fuente de iones lineal | |||||||
Ancho de la red: 1300 mm | |||||||
Diámetro del enrollamiento: Φ600 mm máximo | |||||||
Dirección de enrollamiento: bidireccional | |||||||
espesor del sustrato: 15 ~ 300 μm | |||||||
Velocidad de línea web:0.5 ~ 10M/min | |||||||
Tensión de la red: 5,0PLI máximo 0,5PLI min. | |||||||
Alineación de la telaraña: ±3 mm (un paso) | |||||||
Bomba de alta presión: bomba turbo | |||||||
Bomba de vacío en bruto: combinación de bomba seca y soplador | |||||||
Bomba de humedad: polifrío criogénico | |||||||
Control del espesor de deposición: monitoreo (opcional) | |||||||
a) Transmisión óptica; b) Resistencia de corriente Eddy. | |||||||
Funcionamiento del sistema: Funcionamiento del sistema informático basado en PLC |
Por favor, póngase en contacto con nosotros para más especificaciones, Royal Technology tiene el honor de proporcionarle soluciones de recubrimiento total.