Cámara | Orientación vertical, 1 puerta |
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Material | Acero inoxidable 316 |
Tecnología del vacío | Capa dura de PVD, capa de CrN, galjanoplastia del pvd, evaporación catódica del arco |
Fuentes de deposición | Fuentes del arco |
Películas de capa | Galjanoplastia de película metálica del Cr, de CrN, del CrC etc., nitruro del titanio, carburo del t |