Cátodo de pulverización catódica Magentron planar, Cátodo de pulverización catódica de deposición de alta densidad,

Descripción:

El magnetrón que farfulla es otra forma de tecnología de la capa de PVD.

Capa del plasma
El magnetrón que farfulla es un proceso de la capa del plasma por el que el material de la farfulla sea expulsado debido al bombardeo de iones a la superficie de la blanco. La cámara de vacío de la máquina de capa de PVD se llena de un gas inerte, tal como argón. Aplicando un alto voltaje, una descarga de resplandor se crea, dando por resultado la aceleración de iones a la superficie de la blanco y a una capa del plasma. Los argón-iones expulsarán los materiales de la farfulla de la superficie de la blanco (farfulla), dando por resultado una capa de capa farfullada en los productos delante de la blanco.

Farfulla reactiva
A menudo un gas adicional tal como nitrógeno o acetileno se utiliza, que reaccionarán con el material expulsado (farfulla reactiva). Una amplia gama de capas farfulladas son realizables con esta técnica de la capa de PVD. La tecnología de la farfulla del magnetrón es muy ventajosa para la capa decretal (los nitruros e.g. del Ti, del Cr, del Zr y del carbono), debido a su naturaleza lisa. La misma ventaja hace la farfulla del magnetrón ampliamente utilizada para la capa tribológica en los mercados automotrices (las combinaciones andvarious e.g. de CrN, del Cr 2N con la capa de DLC - diamante como la capa del carbono).

Campos magnéticos
El magnetrón que farfulla es algo diferente de tecnología general de la farfulla. La diferencia es que la tecnología de la farfulla del magnetrón utiliza campos magnéticos para guardar el plasma delante de la blanco, intensificando el bombardeo de iones. Un plasma altamente densa es el resultado de esta tecnología de la capa de PVD.

La tecnología de la farfulla del magnetrón se caracteriza cerca:

• Se genera una blanco refrigerada por agua, tan poco calor de la radiación
• Casi cualquier material de blanco metálico se puede farfullar sin la descomposición
• los materiales No-conductores se pueden farfullar usando la radiofrecuencia (RF)
  o poder de frecuencia media de (MF)
• Las capas del óxido pueden ser farfulladas (la farfulla reactiva)
• Uniformidad excelente de la capa
• Capas farfulladas muy lisas (ningunas gotitas)
• Los cátodos (de hasta 2 metros de largo) se pueden poner en cualquier posición, por lo tanto arriba
  flexibilidad del diseño del equipo de la farfulla
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• ¿Cómo vacío que metaliza se hace?
  Principalmente el proceso incluye
  La tecnología automática de la pintura del §, equipada del arma de espray automático avanzado, cliente puede también hacer juego el robot de pintura lleno-automático.
  El diseño del espray de la cortina de agua del § y la niebla de la pintura reciclan el sistema que podría reducir grandemente la proliferación de la contaminación de la niebla de la pintura.
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  El tipo de cadena auto diseño del § puede realizar fexiblemente la línea planeamiento e instalación del cuerpo.
  Diseño de interfaz persona-máquina del § totalmente nuevo, sistema del control automático del PLC y operación simple que se pueden manejar por sus yemas del dedo.
  Arreglo razonable de la calefacción infrarroja, el punto del § del agujero de la disposición de curado ULTRAVIOLETA. El proceso de curado caliente sin ángulo muerto se termina rápidamente.
  Longitud del §: La longitud modificada para requisitos particulares, sola pintura con la sola hornada, pintura a pistola doble con la hornada doble, la longitud de la línea automática es generalmente los 50m, los 90m, el 120m y los 200m etc.
  Cadena del rotor del §: cadena ajustable de la transmisión de la frecuencia
  Precipitación electrostática del polvo del §: cámara electrostática automática independiente de la precipitación y equipado del arma electrostático de la precipitación 6
  Tratamiento de la llama del §: el arma múltiple del tratamiento de la llama, mejora la adherencia del producto específico
  Pintura automática del §: la cámara de espray automática independiente, equipada del arma de espray automático múltiple, cliente puede también seleccionar el robot de pintura lleno-automático.
  Nivelación del infrarrojo del §: el pre-calor-flujo infrarrojo cuece longitud con el cálculo exacto, adopta el último sistema infrarrojo del pre-calor-flujo del R&D del múltiplo con temperatura ajustable.
  Curado ULTRAVIOLETA del §: equipado de la luz UV del poder más elevado múltiple, punto entero del dispositivo de curado ULTRAVIOLETA
  Purgación del aire del §: adopte el filtro de gran eficacia, que podría mejorar la tarifa y la limpieza de la purificación
  Control eléctrico del §: adopte el sistema de control completamente automático del PLC, los parámetros de proceso son controlables y ajustables
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