Fuentes de plasma de capa de ánodo
Destacar | Aplicaciones: |
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Recubridores de banda R2R, Sistemas de deposición en línea, Recubridores por lotes Para películas ópticas, recubrimientos duros, películas delgadas funcionales y decorativas, tratamiento de plasma de textiles. |
Producto | ActiveGas-ALS (rectangular) | ActiveGas-ALS (circular) |
máx.voltaje de descarga | 1500V | 1500V |
máx.corriente de descarga | >15mA/cm | >15mA/cm |
Energía de iones | 50~800eV | 50~800eV |
Presión operacional | 5×10-2~1 Pa | 5×10-2~1 Pa |
agua de refrigeración | 5L/min | 2L/min |
Dimensiones (mm) | 145W@L<390 / 160W@L>400 | ø114×130(Al) |
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