Máquina de capa de la farfulla del tantalio PVD, películas del tantalio depositadas por el magnetrón que farfulla, galjanoplastia de DC del tantalio de PVD
El tantalio es el más ampliamente utilizado de la industria electrónica y como capa protectora en muchas industrias debido a su buena resistencia a la erosión.
Las películas farfulladas del tantalio son ampliamente utilizadas en
1. la industria de la microelectrónica como las películas pueden ser farfulladas reactivo y así el coeficiente de la resistencia y de temperatura de resistencia pueden ser controlados;
2. Instrumentos médicos como los implantes del cuerpo para su altamente propiedad del biocompatability;
3. capas en partes resistentes a la corrosión, tales como thermowells, cuerpos de válvula, y sujeciones;
El tantalio farfullado puede deber también ser utilizado como barrera eficaz de la resistencia a la corrosión si la capa es continua, defectected y es adherente al substrato se piensa proteger.
Ventajas técnicas RTAS1000
1. Sistema de diseño integrado enchufable para la instalación rápida
2. PLC de Siemens, CPU; con hardware industrial de la operación y del control de la PC
3. Disponible para el control remoto y la diagnosis.
4. flexible, aliste para actualizar
5. Cátodos múltiples para la velocidad rápida de la deposición
Más ventajas de la máquina:
Diseño robusto, calidad estable, ciclo rápido, duración de ciclo rápida, alta velocidad de la deposición
Configuraciones principales | |
MODELO | RTAS1000 |
TECNOLOGÍA | Magnetrón de DC que farfulla + galjanoplastia catódica del arco |
MATERIAL DE LA CÁMARA | Acero inoxidable (S304) |
TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1000*1000mm (h) |
TIPO DE LA CÁMARA | Forma de D, cámara cilíndrica |
ESTANTE DE LA ROTACIÓN Y SISTEMA DE LA PLANTILLA | Conducción por satélite o sistema de conducción central |
FUENTES DE ALIMENTACIÓN | Fuente de alimentación de la farfulla de DC: 2~4 sistemas perjudican la fuente de alimentación: 1 fuente de alimentación determinada del arco: 11 sistemas |
MATERIAL DE LA DEPOSICIÓN | Ti/Cr/TiAl, TA, Au, AG, Cu etc. |
FUENTE DE LA DEPOSICIÓN |
Cátodos planares de la farfulla + cátodos circulares del arco Observación: DC cylinderial farfulla está disponible |
CONTROL | PLC (regulador programable de la lógica) + pantalla táctil (modelos de operación semi-autos de manual+ auto+) |
SISTEMA DE BOMBA | Vane Pump rotatoria: SV300B - 1 sistema (Leybold) |
Las raíces bombean: WAU1001 - 1 sistema (Leybold) | |
Sostener la bomba: D60C - 1 sistema (Leybold) | |
Bomba molecular de la suspensión magnética: MAG2200 - 2 más sest (Leybold) | |
PROVEA DE GAS EL REGULADOR DEL FLUJO TOTAL | 4 canales, hechos en China, modelo digital de siete estrellas (serie del CS,) (AR, N2, O2, C2H2) |
INDICADOR DE VACÍO | Modelo: ZDF-X-LE, hecho en China |
SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y equipmen |
CALEFACCIÓN | Calentadores: 20KW. Temporeros máximos.: 450℃ |
ENFRIAMIENTO | Refrigerador industrial (agua fría) |
MÁXIMO DEL PODER. | 100KW (aproximadamente) |
CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA | 45 kilovatios (aproximadamente) |
PESO BRUTO | T (aproximadamente) |
IMPRESIÓN DEL PIE | (L*W*H) 4000*4000 *3600 MILÍMETRO |
PODER ELÉCTRICO | Línea phases/50HZ/5 de la CA 380V/3 |
Cátodos cilíndricos de la farfulla Cátodos planares de la farfulla
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones de capa totales.
Transfiera el folleto, haga clic por favor aquí: Deposición System.pdf de la farfulla del magnetrón
Applicatio del sistema de la deposición de la farfulla del magnetrón…