Características de capa de cerámica del equipo de PVD:
1. La cámara de vacío es la una puerta abierta vertical, 304 que el acero inoxidable fabrica, diámetro interno de la cámara de vacío de φ1400mm-Φ2000mm;
2. El sistema del vacío por la bomba de paleta rotatoria, arraiga las bombas de difusión de la bomba y del aceite o la constitución molecular de la bomba;
3. El sistema de capa utiliza magnetismo de la frecuencia intermedia 1-2 para controlar la fuente de energía de la farfulla, tiene 1-2 pares de magnetismo no-equilibrado para controlar la blanco, y tiene 14-40 fuentes del arco.
4. Fuente de energía del prejuicio del pulso de la eficacia alta;
5. Las aplicaciones del sistema de la gasificación produjeron nacionalmente o el flujómetro total gaseoso de la importación, el metro del control de la cantidad del flujo del gas (demostración);
6. El circuito eléctrico del establecimiento del sistema eléctricamente controlado sobrecargado, cortó el abastecimiento de agua, muere el dispositivo de alarma de la acustoóptica;
7. Sistema de control (pantalla táctil +PLC), parámetro detallado de la exhibición en tiempo real, proceso de producción entero del control totalmente automático, y parámetro tecnológico de la memoria automática.
Equipo de capa de PVD - especificaciones RTAC1618
| MODELO | RTAC1618 | ||
| MATERIAL | Acero inoxidable (S304) | ||
| TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1600*1800mm (h) | ||
| SISTEMA DE BOMBA | Bomba de vacío de pistón rotatorio (mecánica) | ||
| Vane Vacuum Pump rotatoria (tenencia) | |||
| Las raíces limpian la bomba con la aspiradora | |||
| Bomba de difusión | |||
| TECNOLOGÍA | Ion Plating (fuentes del Multi-arco) | ||
| BLANCOS TÍPICAS | Chrome, titanio, circonio, TiAl | ||
| GAS | Metros de flujo de masa del gas (AR, N2,) argón, nitrógeno | ||
| CONTROL | PLC (regulador programable de la lógica) | ||
| SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y el equipo | ||
| ENFRIAMIENTO | Agua de enfriamiento de Recyle | ||
| CALEFACCIÓN | Calentador, hasta 300℃ | ||
| MÁXIMO DEL PODER. | 150KW (aproximadamente) | ||
| CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA | 70KW (aproximadamente) | ||
El equipo de capa de cerámica de PVD toma tecnología de la galjanoplastia del ion para evaporar los metales del solide como el titanio, Chrome por fuente catódica del arco y para condensar los metales ionizados en superficie del producto para generar la película fina nana en el ambiente del alto vacío. Con el gas reactivo como: Nitrógeno para generar diversos colores.
Otros tamaños modificados para requisitos particulares de la máquina son vailable basados en dimensiones del producto y demanda especificadas de la capacidad.
Modelo | RTAC-1008 | RTAC-1012 | RTAC-1215 | RTAC-1416 | RTAC-1618 | ||||||
| Tamaño interno de la cámara | 1000x800m m | 1000x1200m m | 1200x1500m m | 1400x1600m m | 1600x1600m m | ||||||
| Tipo de la fuente de alimentación | Fuente de alimentación del arco, fuente de alimentación del filamento, fuente de alimentación del prejuicio del pulso | ||||||||||
| Estructura de la cámara de vacío | Estructura de puerta principal vertical, dispositivo de escape posterior del aire y cámara de la refrigeración por agua de la doble-capa | ||||||||||
| Material de la cámara de vacío | 304/316L de acero inoxidable | ||||||||||
| Último vacío | 6.0x10-4Pa (descarga, limpio, secando la cámara) | ||||||||||
| Velocidad de bombeo del vacío | de la atmósfera a los minutos de 8.0*10-3Pa ≤15 | ||||||||||
| Sistema de bombeo del vacío | La bomba de difusión o la bomba + las raíces moleculares bombean + bomba mecánica + sosteniendo la bomba (el modelo específico se puede seleccionar según requisitos de cliente) | ||||||||||
| Fuente del arco | 6 unidades o 8 unidades | 8 unidades o 10 unidades | 10 unidades o 12 unidades | 14 unidades o 16 unidades | 16 unidades o 18 unidades | ||||||
| Fuente de alimentación diagonal | 20KW/set | 20KW/set | 30KW/set | 40KW/set | 50KW/set | ||||||
| Conducción del modelo | Revolución y rotación planetarias, regulación variable de la velocidad de la frecuencia (controlable y ajustable) | ||||||||||
| Sistema de calefacción | Controlable y ajustable de temperatura ambiente a 450°C (Control de la temperatura del PID) | ||||||||||
| MFC | 3-path o control de flujo del gas del proceso de 4 trayectorias y sistema de visualización, sistema que provee de gas automático selectivo | ||||||||||
| Sistema de enfriamiento | Modo de enfriamiento de la circulación del agua, torre de agua de enfriamiento o sistema industrial del refrigerador de agua o profundo de enfriamiento. (Proporcionado por los clientes) | ||||||||||
| Modo de control | Manual/modo de la integración, operación de la pantalla táctil, PLC o control informático automático | ||||||||||
| Poder total | 30KW | 35KW | 45KW | 60KW | 75KW | ||||||
| Alarma y protección | Escasez de agua de la alarma, sobre corriente y sobretensión, circuito abierto y otras condiciones anormales de las bombas, blancos y así sucesivamente y ejecutar medidas protectoras relevantes y la función del dispositivo de seguridad eléctrico | ||||||||||
| Área del equipo | W2.5m*L3.5m | W3m*L4m | W4m*L5m | W4.5m*L6m | W5m*L7m | ||||||
| Otros parámetros técnicos | Presión de agua ≥0.2MPa, temperatura del agua ≤25°C, presión de aire 0.5-0.8MPa | ||||||||||
| Observaciones | La configuración específica del equipo de capa se puede diseñar según requisitos del proceso de cubrir productos | ||||||||||
Muestras de capa de cerámica de los ficheros PVD
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