El sistema de capa archivado magnético de la farfulla del agua del tubo solar del oyente, dirige la planta de la farfulla del vacío del cobre plateado
La máquina de pintar RTSP1215 de la farfulla de Mangetron esigned para el cobre, alumunium, plástico, galjanoplastia conductora de la capa de la película de la placa de circuito del metal. Puede condensar la película fina nana en los substratos. Excepto el AG que farfulla, puede también depositar Ni, Au, AG, Al, Cr, SS316L.
La máquina RTSP1215 está instalada con 2 pares de cátodos de la farfulla de la frecuencia intermedia en cámara, antes de la deposición de la película de PVD y de 1 sistema de la fuente de ion de la capa del ánodo para la limpieza del bombardeo del plasma.
La fuente de ion es original de la compañía de Gencoa, las propiedades:
1. Campos magnéticos optimizados para producir un haz colimado del plasma en las presiones estándar de la farfulla
2. Regulación automatizada para que el gas mantenga la corriente y el voltaje constantes – control del auto del multi-gas
3. Ánodo y cátodo del grafito para proteger el substrato contra la contaminación y para proporcionar componentes duraderos
4. Aislamiento eléctrico estándar del RF en todas las fuentes de ion
5. Enfriamiento indirecto del ánodo y del cátodo – transferencia rápida de piezas
6. Transferencia fácil de las piezas del cátodo para proporcionar las trampas magnéticas múltiples para la operación de tensión inferior, o un haz enfocado
7. El voltaje reguló la fuente de alimentación con la reacción del ajuste del gas para mantener la misma corriente siempre
Usos del equipo de la capa de la farfulla RTSP1215:
1. Disponible en los substratos de: Hojas del plástico, del polímero, de cristal y de cerámica, acero inoxidable, hoja de cobre, tablero de aluminio etc.
2. Para generar la película nana tenga gusto: Lata, tic, TiCN, Cr, CrC, CrN, Cu, AG, Au, Ni, Al etc.
Características del diseño del equipo de la capa de la farfulla RTSP1215:
1. Diseño robusto, bueno para el espacio limitado del sitio
2. De fácil acceso para el mantenimiento y la reparación
3. Sistema de bombeo rápido para la alta producción
4. El recinto eléctrico estándar del CE, estándar de la UL está también disponible.
5. Ejecución exacta de la fabricación
6. Funcionamiento estable para garantizar la producción de alta calidad de la película.
La característica dominante es esa operación y programa y software modificados para requisitos particulares reales de control, que está disponible satisfacer diversas peticiones de las demandas de cliente. El sistema de control es PLC + pantalla táctil:
Control remoto y control (red de área local) del PLC
1) Programa teledirigido de la opinión del equipo
2) Respaldo del programa del PLC + respaldo del programa de HMI
3) Condiciones de la PC
Sistema: Ventana 2000/Window XP/Window 7
Pixel de la exhibición: 1920*1080
Configuraciones
| MODELO | RTSP1215 |
| MATERIAL | Acero inoxidable (S304) |
| TAMAÑO DE LA CÁMARA | Φ1200*1500mm (h) |
| TIPO DE LA CÁMARA | estructura 1-door, vertical |
| SOLO PAQUETE DE LA BOMBA | Bomba rotatoria de VaneVacuum |
| Bomba de vacío de raíces | |
| Bomba molecular de la suspensión magnética | |
| Bomba de vacío rotatoria de dos etapas de la paleta | |
| TECNOLOGÍA | Magnetrón que farfulla, fuente de la frecuencia intermedia de ion linear |
| FUENTE DE ALIMENTACIÓN | Fuente de alimentación de la farfulla + fuente de alimentación + fuente de ion diagonales |
| FUENTE DE LA DEPOSICIÓN | cátodos de la farfulla de la frecuencia intermedia de 2 pares + fuente de ion |
| CONTROL | Pantalla de PLC+Touch |
| GAS | Gas metros de flujo total (AR, N2, C2H2, O2) argón, nitrógeno y Ethyne, oxígeno |
| SISTEMA DE SEGURIDAD | Dispositivos de seguridad numerosos para proteger operadores y el equipo |
| ENFRIAMIENTO | Agua de enfriamiento |
| LIMPIEZA | Descarga de resplandor/fuente de ion |
| MÁXIMO DEL PODER. | 120KW |
| CONSUMO DE ENERGÍA MEDIA | 70KW |
Éntrenos en contacto con por favor para más especificaciones, tecnología real se honra para proporcionarle soluciones totales de la capa.
