Vacío de la campana de cristal que metaliza el CE inductivo de la máquina de la deposición del sistema C60

                                           Máquina de capa inductiva de la evaporación

Resumen:

La calefacción de inducción es ampliamente utilizada en diversos campos debido a la altas productividad y universalidad de proceso, la limpieza y la posibilidad de la automatización completa. Como un método de tecnología termal de la evaporación de PVD, el proceso es amistoso para el ambiente. Puesto que la inducción permite el alcanzar de la temperatura de 2000℃ y más, este método es muy conveniente para la producción industrial y científico investiga.

La máquina de capa de la evaporación de la inducción RTEP0404 se diseña para la deposición de evaporación C60 encendido varía de materiales. C60 fabrica proporciona el R&D y los resultados de la prueba para anticipado. Una herramienta fuerte que les ayuda para ampliar nuevas industrias aplicadas.

El primer sistema se produce para la universidad de Shangai. El modelo de la producción industrial está bajo proceso. 

Usos principales:

Para depositar capas y capas de la película fina encendido

• Semiconductores
• Vidrio
• Polímeros
• Electrónica
• La óptica
• Otros productos industriales incluyendo las películas del acondicionamiento de los alimentos, las tiras de metal etc.

Tipo:

Orientación vertical, modelo de la campana de cristal, abertura superior

Características del diseño:

• Última presión ultraalta del vacío: hasta PA 9.0*10-5;
• Rápido calentando para arriba los dispositivos para una buena adherencia;
• Sistema de capa robusto, compacto y sólido;
• Exclusivamente diseño de la fuente de la evaporación de la calefacción de inducción para la deposición C60;
• El poder del evaporador de la inducción: Moneda del RF

Especificaciones técnicas:

• Funcionamiento

1. Última presión del vacío: mejore que PA 9.0*10-5;

• Presión de funcionamiento del vacío: 6.0*10-4 PA del PA ~9.0*10-4;

Presión baja del vacío: PA 3.0*10-4

3. Tiempo muerto de bombeo: a partir de 1 atmósfera a los minutos de 2.0×10-3 Pa≤25 (la temperatura ambiente, seca, limpia y vacia la cámara)

4. Fuente de la deposición: evaporador de la inducción, crisol

5. Modelo de funcionamiento: Manualmente

6. Calefacción: de temperatura ambiente hasta el máximo 1000℃,

7. Poder de la evaporación:  Radiofrecuencia del RF y fuente de alimentación

8. Gas de trabajo: AR 

• Estructura

La máquina de la vacuometalización contiene el sistema de la llave terminado enumerado abajo:

1. Cámara de vacío

1,1 tamaño: Diámetro interno 400m m

     Altura interna: 400m m

1,2 material: Cámara de vacío SUS304

La cámara fortalece la estructura: Acero suave SS41, con el tratamiento superficial de acabado pintado.

Acero suave del chasis SS41 de la cámara con el tratamiento superficial de acabado pintado.

1,3 escudo de la evaporación: SUS304

1,4 ventana de la visión: en puerta de la cámara

1,5 válvula de expresión de la cámara de vacío (silenciador incluyendo)

2. Sistema de bombeo del vacío del desbaste:
Bomba de paleta rotatoria del aceite de dos etapas

3. Sistema de bombeo del alto vacío: Bomba molecular de Turbo

4. Unidad eléctrica de la operación del sistema HMI del control y de la operación

4,1 circuito de la tubería: interruptor del triturador del Ninguno-fusible, interruptor electromágnetico, tipo de C/T en serie

4,2 poder de la evaporación

4,3 sistema de control de la evaporación

4,4 sistema de la operación: PLC

4,5 sistema de medición

Presión del vacío: Indicador de vacío: Pirani + encerrando el indicador

4,6 sistema de alarma: Presión del aire comprimido, corriente de enfriamiento, Mis-operación

4,7 indicador de la carga del poder: Indicador del voltaje e indicador de la corriente de la carga

5. sistema de la deposición

5,1 fuente de la deposición: evaporador la termal de la inducción

5,2 material de la deposición: C60

6. Subsistema

6,1 sistema de control comprimido de la válvula del aire

6,2 circuito de agua de enfriamiento: Sistema de la válvula del tubo y del interruptor de la corriente

6,3 gas de trabajo: AR (el >99.99%)

7. Ambiente de trabajo

Aire comprimido: 5~8kg/cm2

Agua de enfriamiento: Agua-en temperatura: 20~25℃, 200 litros/minuto,
Agua-en la presión: 2~3 kg/cm2,

Poder: 3 fase 380V 50Hz (60Hz), 8kVA, consumo de energía media: 3kVA

Área de la instalación: (L*W*H) 2000*200*2000m m

         Extractor: Respiradero para las bombas mecánicas

Automáticamente tirando de la unidad de Up-Down para abrirse/cercano la cámara

Sistema eléctrico del recinto:

Extremidades de la seguridad:

Protección de Shileding contra la radiación del RF

Hemos sido nos esforzamos para diseñar y desarrollar el sistema de capa más conveniente que resuelven nuestra alta calidad de la eficacia y de la capa de la producción del cliente pide.

Si el sistema de capa modificado para requisitos particulares es requerido por su compañía, comparta por favor sus pensamientos, ideas con nuestro equipo y presente sus especificaciones de productos, nosotros trabajará junto para arreglar las mejores soluciones.