| Cámara | Orientación vertical, 1 puerta |
|---|---|
| Material | Acero inoxidable 316 |
| Tecnología del vacío | Capa dura de PVD, capa de CrN, galjanoplastia del pvd, evaporación catódica del arco |
| Fuentes de deposición | Fuentes del arco |
| Películas de capa | Galjanoplastia de película metálica del Cr, de CrN, del CrC etc., nitruro del titanio, carburo del t |
